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yupeng199新蟲 (正式寫手)
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[求助]
磁控濺射過程中靶材開裂且發(fā)黑 已有5人參與
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| 在制備過程中,預(yù)濺時(shí)的輝光顏色正常,但是正濺時(shí)輝光有些許變淺,同時(shí)分子泵在抽真空的過程中時(shí)間過長(zhǎng),之后取出靶材時(shí),靶材表面裂縫處發(fā)黑,同時(shí)靶材與背靶銅之間的銦沒了,一小塊靶材脫落,這塊靶材本身濺射次數(shù)太多,已發(fā)生開裂,請(qǐng)問這是為啥會(huì)黑呢,那這塊靶材還能使用嗎 |
新蟲 (正式寫手)
新蟲 (小有名氣)
新蟲 (正式寫手)
新蟲 (正式寫手)
金蟲 (正式寫手)
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靶材表面發(fā)黑有可能是熔化的焊料被打散覆蓋在表面了。另外,靶材開裂跟升功率的速率也有一定的關(guān)系,把升功率的速率降低,會(huì)有所改善。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
木蟲 (正式寫手)

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