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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 科研生活 » 磁控濺射過程中靶材開裂且發(fā)黑
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yupeng199新蟲 (正式寫手)
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[求助]
磁控濺射過程中靶材開裂且發(fā)黑 已有5人參與
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| 在制備過程中，預濺時的輝光顏色正常，但是正濺時輝光有些許變淺，同時分子泵在抽真空的過程中時間過長，之后取出靶材時，靶材表面裂縫處發(fā)黑，同時靶材與背靶銅之間的銦沒了，一小塊靶材脫落，這塊靶材本身濺射次數(shù)太多，已發(fā)生開裂，請問這是為啥會黑呢，那這塊靶材還能使用嗎 |
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9樓2022-10-12 19:11:30
ipwt5029 
新蟲 (正式寫手)
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- 專業(yè): 半導體晶體與薄膜材料
yupeng1992樓2022-09-25 13:00:05
3樓2022-09-26 17:30:19
yupeng199
新蟲 (正式寫手)
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4樓2022-09-26 19:16:54
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