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yupeng199新蟲 (正式寫手)
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[求助]
磁控濺射過程中靶材開裂且發(fā)黑 已有5人參與
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| 在制備過程中，預(yù)濺時的輝光顏色正常，但是正濺時輝光有些許變淺，同時分子泵在抽真空的過程中時間過長，之后取出靶材時，靶材表面裂縫處發(fā)黑，同時靶材與背靶銅之間的銦沒了，一小塊靶材脫落，這塊靶材本身濺射次數(shù)太多，已發(fā)生開裂，請問這是為啥會黑呢，那這塊靶材還能使用嗎 |
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r408062798
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【答案】應(yīng)助回帖
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靶材表面發(fā)黑有可能是熔化的焊料被打散覆蓋在表面了。另外，靶材開裂跟升功率的速率也有一定的關(guān)系，把升功率的速率降低，會有所改善。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
6樓2022-09-27 00:52:10
ipwt5029 
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yupeng1992樓2022-09-25 13:00:05
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3樓2022-09-26 17:30:19
yupeng199
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4樓2022-09-26 19:16:54
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