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yupeng199新蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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[求助]
磁控濺射過(guò)程中靶材開(kāi)裂且發(fā)黑 已有5人參與
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| 在制備過(guò)程中，預(yù)濺時(shí)的輝光顏色正常，但是正濺時(shí)輝光有些許變淺，同時(shí)分子泵在抽真空的過(guò)程中時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，之后取出靶材時(shí)，靶材表面裂縫處發(fā)黑，同時(shí)靶材與背靶銅之間的銦沒(méi)了，一小塊靶材脫落，這塊靶材本身濺射次數(shù)太多，已發(fā)生開(kāi)裂，請(qǐng)問(wèn)這是為啥會(huì)黑呢，那這塊靶材還能使用嗎 |
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yupeng1993樓2022-09-26 17:30:19
ipwt5029 
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2樓2022-09-25 13:00:05
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4樓2022-09-26 19:16:54
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5樓2022-09-26 19:18:00
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