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yupeng199新蟲 (正式寫手)
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[求助]
磁控濺射過程中靶材開裂且發(fā)黑 已有5人參與
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| 在制備過程中，預(yù)濺時(shí)的輝光顏色正常，但是正濺時(shí)輝光有些許變淺，同時(shí)分子泵在抽真空的過程中時(shí)間過長，之后取出靶材時(shí)，靶材表面裂縫處發(fā)黑，同時(shí)靶材與背靶銅之間的銦沒了，一小塊靶材脫落，這塊靶材本身濺射次數(shù)太多，已發(fā)生開裂，請問這是為啥會(huì)黑呢，那這塊靶材還能使用嗎 |
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木蟲 (正式寫手)
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7樓2022-10-11 15:44:13
ipwt5029 
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yupeng1992樓2022-09-25 13:00:05
寧靜致遠(yuǎn)233
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3樓2022-09-26 17:30:19
yupeng199
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4樓2022-09-26 19:16:54
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