 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 8 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 3218 | 回復(fù): 7 | ||||
[求助]
請問金屬基底旋涂光刻膠進(jìn)行前烘的參數(shù)如何設(shè)置 已有3人參與
|
|
導(dǎo)師給小弟安排了個(gè)任務(wù)是在一個(gè)金屬基底上濺射一層薄膜，這個(gè)金屬基底也不是正常基片而是一個(gè)異形基底具有懸空結(jié)構(gòu)。 現(xiàn)在基本工藝摸得差不多了，使用光刻濺射再lift-off的方法來做，但是最近小弟遇到一個(gè)問題需要各位大佬幫助。 目前是發(fā)現(xiàn)采用標(biāo)準(zhǔn)的前烘工藝來做（使用的光刻膠為az-4620，旋涂的厚度為10um左右。使用烘箱50度保溫半小時(shí)，90度保溫2小時(shí)—這個(gè)是廠家給我們的參考工藝），光刻膠烘得太透了，曝光之后肉眼看沒啥效果，顯影的時(shí)間也遠(yuǎn)超別人標(biāo)準(zhǔn)基片的工藝，而且顯影效果不好，導(dǎo)致小弟現(xiàn)在做了幾個(gè)月東西還沒做出來。 現(xiàn)在的推測就是光刻膠前烘沒做好，懷疑是金屬導(dǎo)熱太快導(dǎo)致光刻膠的烘干比標(biāo)準(zhǔn)的硅片和玻璃片要快很多。 但是現(xiàn)在摸索烘膠溫度很耗時(shí)，我這個(gè)基片由于懸空所以不好用熱板，目前都是用的烘箱，按照標(biāo)準(zhǔn)的來做一次前烘耗時(shí)很長。所以請問大神們有沒有做過8~10微米的光刻膠在金屬基底上的烘膠工藝，小弟好找個(gè)參考值，烘箱和熱板都可以。 |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
XPS/?λXPS
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
河北大學(xué)-26年秋季入學(xué)化學(xué)博士招生
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
無機(jī)化學(xué)論文潤色/翻譯怎么收費(fèi)?
已經(jīng)有62人回復(fù)
-
招收2026年入學(xué)博士研究生
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
0856材料306分調(diào)劑
已經(jīng)有2人回復(fù)
-
北京航空航天大學(xué)26級博士招生-生物醫(yī)學(xué)工程-合成生物學(xué)
已經(jīng)有16人回復(fù)
babyoflion
金蟲 (著名寫手)
- 應(yīng)助: 183 (高中生)
- 金幣: 4771.5
- 散金: 301
- 紅花: 30
- 帖子: 2506
- 在線: 671.9小時(shí)
- 蟲號: 2297725
- 注冊: 2013-02-25
- 性別: GG
- 專業(yè): 光學(xué)
2樓2020-01-02 19:24:17
3樓2020-01-02 20:17:29
danghaha
新蟲 (文壇精英)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 4444.8
- 散金: 41604
- 紅花: 66
- 沙發(fā): 7
- 帖子: 41684
- 在線: 340.9小時(shí)
- 蟲號: 4692823
- 注冊: 2016-05-15
- 性別: MM
- 專業(yè): 信號理論與信號處理
4樓2020-01-02 21:24:18
yswyx 
專家顧問 (著名寫手)
-
專家經(jīng)驗(yàn): +651 - MN-EPI: 8
- 應(yīng)助: 807 (博后)
- 貴賓: 0.204
- 金幣: 2618.1
- 散金: 6018
- 紅花: 112
- 帖子: 2705
- 在線: 577.8小時(shí)
- 蟲號: 446878
- 注冊: 2007-10-30
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
- 管轄: 微米和納米
【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
leine: 金幣+30, ★★★★★最佳答案 2020-02-12 16:49:49
supernatural: 專家，不要在帖子里宣傳公司了 2020-05-22 10:16:36
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
leine: 金幣+30, ★★★★★最佳答案 2020-02-12 16:49:49
supernatural: 專家，不要在帖子里宣傳公司了 2020-05-22 10:16:36
|
只討論光刻的話，直接減90°c那個(gè)時(shí)間，減到1小時(shí)。你的顯影效果不好，說的應(yīng)該時(shí)黑邊嚴(yán)重，光刻膠的形貌很差，不能順利剝離。這就不是光刻的問題了，因?yàn)?620本來就這個(gè)德行。賣你光刻膠的也啥都不懂，瞎指導(dǎo)。 你這個(gè)金屬鏤空結(jié)構(gòu)，用烘箱確實(shí)比較麻煩，如果由頂部加熱的熱板，那是最好了，不過這個(gè)熱板要定制，你去買不劃算。你這個(gè)剝離工藝，盡可能的用負(fù)膠做，比如7133，專門做剝離的負(fù)膠，厚度5um，足夠了。唯一的麻煩是負(fù)膠需要后烘，溫度控制不好的話，底切做的差，剝離會(huì)難點(diǎn)兒，但比4620強(qiáng)百倍。 現(xiàn)在的光刻膠，一般都沒有烘箱使用的溫度參考，要靠自己摸，不過像對于7133這樣工藝寬容度比較大的，還是比較容易的，先拿硅片試試，再用你的正片做就很容易了。 |
5樓2020-01-03 16:45:44
wfg0915
鐵蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 3 (幼兒園)
- 金幣: 29.8
- 帖子: 25
- 在線: 12.7小時(shí)
- 蟲號: 15629506
- 注冊: 2019-07-16
- 專業(yè): 集成電路制造與封裝
6樓2020-01-03 16:54:12
|
本帖內(nèi)容被屏蔽 |
7樓2020-03-06 12:31:47
astyake0309
新蟲 (初入文壇)
★ ★
supernatural: 金幣-2, 屏蔽內(nèi)容, 違規(guī)存檔, 你已經(jīng)多次打廣告了，再打廣告就禁言！ 2020-04-19 12:33:57
supernatural: 金幣-2, 屏蔽內(nèi)容, 違規(guī)存檔, 你已經(jīng)多次打廣告了，再打廣告就禁言！ 2020-04-19 12:33:57
|
本帖內(nèi)容被屏蔽 |
8樓2020-04-17 00:04:49
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 leine 的主題更新
| 8 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 085701環(huán)境工程295求調(diào)劑，一志愿A區(qū)211 +6 | 等春來， 2026-03-06 | 7/350 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 085600材料工程一志愿中科大總分312求調(diào)劑 +10 | 吃宵夜1 2026-02-28 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 材料與化工328求調(diào)劑 +4 | 。，。，。，。i 2026-03-02 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 材料學(xué)碩318求調(diào)劑 +21 | February_Feb 2026-03-01 | 24/1200 |
|
|
|
[考研] 085600，一志愿鄭州大學(xué)，280分求調(diào)劑 +7 | Wuqi725 2026-03-05 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 304求調(diào)劑 +3 | 52hz~~ 2026-03-05 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 347求調(diào)劑 +6 | 啊歐歐歐 2026-03-03 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 22408-273求調(diào)劑-擔(dān)任3個(gè)項(xiàng)目的負(fù)責(zé)人-1篇國際期刊論文（一作）1篇核心期刊論文在投。 +3 | 沒想好取什么名 2026-03-03 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑院校 +6 | 云朵452 2026-03-02 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 成績276，專業(yè)代碼0856求調(diào)劑 +10 | 小陳朵 2026-03-03 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 282求調(diào)劑 +5 | 2103240126 2026-03-02 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 環(huán)境調(diào)劑 +8 | chenhanheng 2026-03-02 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 化工專碩348，一志愿985求調(diào)劑 +8 | 弗格個(gè) 2026-02-28 | 11/550 |
|
|
|
[考研] 一志愿中科大能動(dòng)297求調(diào)劑，本科川大 +3 | 邵11 2026-03-03 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 1 +7 | 黑！在干嘛 2026-02-28 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 0854復(fù)試調(diào)劑 276 +5 | wmm9 2026-03-01 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 284求調(diào)劑 +10 | 天下熯 2026-02-28 | 11/550 |
|
|
|
[考研] 一志愿鄭大材料學(xué)碩298分，求調(diào)劑 +6 | wsl111 2026-03-01 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 0856材料求調(diào)劑 +4 | 麻辣魷魚 2026-02-28 | 4/200 |
|
|
|
[考研]
 尋找調(diào)劑
+4
|
LYidhsjabdj 2026-02-28 | 4/200 |
|