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czcdxmc木蟲 (正式寫手)
MEMS小學(xué)生
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[求助]
氮化硅SiN膜上光刻后濺射鈦Ti或金Au后出現(xiàn)光刻膠PR鼓泡的情況 已有2人參與
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| SiN膜上光刻后做濺射工藝,濺射Ti或Au后出現(xiàn)光刻膠PR鼓泡的情況,蟲友門有遇到這種問題的嗎? |


木蟲 (正式寫手)
MEMS小學(xué)生

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