 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 5 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 1873 | 回復(fù): 5 | ||
| 當(dāng)前只顯示滿足指定條件的回帖，點(diǎn)擊這里查看本話題的所有回帖 | ||
czcdxmc木蟲 (正式寫手)
MEMS小學(xué)生
|
[求助]
氮化硅SiN膜上光刻后濺射鈦Ti或金Au后出現(xiàn)光刻膠PR鼓泡的情況 已有2人參與
|
|
| SiN膜上光刻后做濺射工藝，濺射Ti或Au后出現(xiàn)光刻膠PR鼓泡的情況，蟲友門有遇到這種問題的嗎？ |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
XPS/?λXPS
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
河北大學(xué)-26年秋季入學(xué)化學(xué)博士招生
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
無機(jī)化學(xué)論文潤(rùn)色/翻譯怎么收費(fèi)?
已經(jīng)有176人回復(fù)
-
招收2026年入學(xué)博士研究生
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
0856材料306分調(diào)劑
已經(jīng)有2人回復(fù)
-
北京航空航天大學(xué)26級(jí)博士招生-生物醫(yī)學(xué)工程-合成生物學(xué)
已經(jīng)有16人回復(fù)
3樓2019-01-17 10:29:12
2樓2019-01-17 09:35:32
czcdxmc
木蟲 (正式寫手)
MEMS小學(xué)生
- 應(yīng)助: 13 (小學(xué)生)
- 金幣: 5212.9
- 散金: 70
- 紅花: 8
- 帖子: 845
- 在線: 101.7小時(shí)
- 蟲號(hào): 2088420
- 注冊(cè): 2012-10-26
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
4樓2019-01-18 13:50:35
【答案】應(yīng)助回帖
| 光刻膠出現(xiàn)玻璃態(tài)褶皺了么？如果濺射完成后光刻膠沒有褶皺邊緣形貌無異常的話，你可以排除溫度過高問題。如果SiN有沒有對(duì)你差別比較大的話，你要考慮等離子體會(huì)產(chǎn)生大量紫外線，將對(duì)作為掩模的光刻膠產(chǎn)生二次曝光作用，曝光過程產(chǎn)生的氮?dú)饷芊庥诠饪棠z中從而在光刻膠內(nèi)外形成壓強(qiáng)差。一般光刻膠的水分和曝光不完全會(huì)有這種情況出現(xiàn)吧。給你篇文獻(xiàn)，你查查看看對(duì)比一下：感應(yīng)耦合等離子體干法刻蝕中光刻膠掩模的異常性 |
5樓2019-01-23 17:33:32
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] A區(qū)一本交叉課題組，低分調(diào)劑，招收機(jī)械電子信息通信等交叉方向 +35 | lisimayy 2026-03-04 | 48/2400 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考博] 售瀆SCI文章，我:8⊙ 55 1⊙ 54。備注【⊙=0】 +3 | vs9ky3szrj 2026-03-06 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 新疆大學(xué)地質(zhì)與礦業(yè)工程學(xué)院招生 +10 | another12 2026-03-04 | 15/750 |
|
|
[考研] 306求調(diào)劑 +7 | Bahati 2026-03-05 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 化學(xué)專業(yè)調(diào)劑 +5 | 好好好1233 2026-03-04 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 301求調(diào)劑 +4 | 李LJR 2026-03-04 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 274環(huán)境工程求調(diào)劑 +6 | 扶柳盈江 2026-03-05 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 一志愿西交化工專碩288專業(yè)課93求調(diào)劑 +6 | 好運(yùn)好運(yùn)接接 2026-03-04 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 376求調(diào)劑 +3 | 王浩然sam 2026-03-04 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 環(huán)境調(diào)劑 +7 | 柒槿levana 2026-03-01 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +4 | 熬夜的貓頭鷹 2026-03-02 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 能動(dòng)297求調(diào)劑，本科川大 +4 | 邵11 2026-03-04 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 復(fù)試調(diào)劑 +4 | 杰尼龜aaa 2026-03-03 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 環(huán)境工程學(xué)碩288求助調(diào)劑 +7 | 多吃億口芝士 2026-03-02 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 0703 總分319求調(diào)劑 +4 | Xinyuu 2026-03-02 | 4/200 |
|
|
|
[考研]
材料工程專碩283求調(diào)劑
 5+8
|
，！？ 2026-03-02 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 材料調(diào)劑 +3 | 恒順自然 2026-03-02 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 一志愿東北大學(xué)材料專碩328，求調(diào)劑 +3 | shs1083 2026-03-02 | 3/150 |
|
|
|
[基金申請(qǐng)] 此成果不能導(dǎo)入原因：元數(shù)據(jù)必填信息不完整，可 進(jìn)行補(bǔ)充。 +4 | Kittylucky 2026-03-02 | 5/250 |
|
|
|
[基金申請(qǐng)]
剛錄用，沒有期刊號(hào)，但是在線可看的論文可以放為代表作嗎
10+3
|
arang1 2026-03-01 | 3/150 |
|