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czcdxmc木蟲 (正式寫手)
MEMS小學(xué)生
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[求助]
氮化硅SiN膜上光刻后濺射鈦Ti或金Au后出現(xiàn)光刻膠PR鼓泡的情況 已有2人參與
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| SiN膜上光刻后做濺射工藝，濺射Ti或Au后出現(xiàn)光刻膠PR鼓泡的情況，蟲友門有遇到這種問題的嗎？ |
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2樓2019-01-17 09:35:32
3樓2019-01-17 10:29:12
czcdxmc
木蟲 (正式寫手)
MEMS小學(xué)生
- 應(yīng)助: 13 (小學(xué)生)
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- 蟲號: 2088420
- 注冊: 2012-10-26
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機電器件與系統(tǒng)
4樓2019-01-18 13:50:35
5樓2019-01-23 17:33:32
czcdxmc
木蟲 (正式寫手)
MEMS小學(xué)生
- 應(yīng)助: 13 (小學(xué)生)
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機電器件與系統(tǒng)
6樓2019-01-30 11:23:57
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