 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 光刻膠膜層皺紋
| 5 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 2014 | 回復: 6 | |||
| 【懸賞金幣】回答本帖問題，作者二七九二將贈送您 6 個金幣 | |||
| 當前只顯示滿足指定條件的回帖，點擊這里查看本話題的所有回帖 | |||
二七九二新蟲 (初入文壇)
|
[求助]
光刻膠膜層皺紋 已有1人參與
|
||
|
目的：在硅片上得到圓柱狀光刻膠。參數(shù)：正性光刻膠AZ4620，每次1000rpm勻膠20um，用棉簽沾丙酮去邊膠，軟烘：90℃15min，再下一次勻膠，重復10次，得到200um厚膠層，曝光機12mJ/平方厘米，曝光200s+400s（曝光200s冷卻后再曝光400s），顯影用1：4稀釋的AZ400K，手動顯影：用鑷子夾住浸沒在顯影液并快速攪動，顯影時間平均在30min，得到的膠層在顯微鏡下看到膜層有嚴重網(wǎng)狀裂紋。 發(fā)自小木蟲手機客戶端 |
回復此樓» 猜你喜歡
河北大學-26年秋季入學化學博士招生
已經(jīng)有0人回復
-
招收2026年入學博士研究生
已經(jīng)有10人回復
-
無機化學論文潤色/翻譯怎么收費?
已經(jīng)有110人回復
-
0856材料306分調(diào)劑
已經(jīng)有2人回復
-
北京航空航天大學26級博士招生-生物醫(yī)學工程-合成生物學
已經(jīng)有16人回復
-
溫州大學王娟課題組2026年招生
已經(jīng)有10人回復
-
溫州大學2026年招生（化學、材料）
已經(jīng)有10人回復
二七九二
新蟲 (初入文壇)
- 應助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 58.2
- 帖子: 42
- 在線: 2.9小時
- 蟲號: 35786581
- 注冊: 2024-11-30
- 專業(yè): 半導體微納機電器件與系統(tǒng)
|
您好，就是曝光之后在顯微鏡下觀察膜層沒有這種裂紋，所以我猜測可能是顯影出現(xiàn)的問題，所以我懷疑有幾個點：1、顯影手動攪動非常猛烈是否會導致裂紋 2、顯影過程發(fā)現(xiàn)前期溶解速率較快，后期溶解慢：感覺都不是溶解，在顯影液里發(fā)現(xiàn)沒有溶解的小塊狀光刻膠（是否和沒有進行重吸水有關）3、用的顯影液AZ400K每次都用到變血紅色才換掉，是否有影響 發(fā)自小木蟲手機客戶端 |
3樓2024-12-02 15:17:21
2樓2024-12-02 10:12:09
二七九二
新蟲 (初入文壇)
- 應助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 58.2
- 帖子: 42
- 在線: 2.9小時
- 蟲號: 35786581
- 注冊: 2024-11-30
- 專業(yè): 半導體微納機電器件與系統(tǒng)
4樓2024-12-02 16:41:19
5樓2024-12-11 09:40:58
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 接受26屆調(diào)劑生 +20 | 豬豬豬毛 2026-03-06 | 20/1000 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] 歡迎211本科同學，過A區(qū)國家線，A區(qū)非偏遠一本，交叉學科課題組 +22 | lisimayy 2026-03-04 | 35/1750 |
|
|
[考研] 化工284求調(diào)劑 +9 | 小黑想變白 2026-03-07 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 297求調(diào)劑 +3 | 胡達靈 2026-03-05 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 醫(yī)學檢驗專業(yè)26考研求調(diào)劑 +3 | 琪ya 2026-03-03 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 085701環(huán)境工程專業(yè)，初試305，均過國家A區(qū)線 +7 | 卡卡來了@ 2026-03-07 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑，不管什么專業(yè)，我是可塑造的人才一枚，希望遇到知己老師撈撈我 +4 | 13102137290 2026-03-06 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 一志愿武漢理工085601，初試301分，請問能調(diào)劑到湖北嗎 +3 | 肖yang 2026-03-06 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 一志愿211 085600 280數(shù)二英二求調(diào)劑 +3 | 月山斜 2026-03-06 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 材料專碩調(diào)劑 +5 | 慕辰123 2026-03-05 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 一志愿哈爾濱工業(yè)大學0856材料與化工，前三科206，總分283，求調(diào)劑 +7 | 26考研求調(diào)劑 2026-03-06 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 一志愿蘇州大學，0856化工323分 | 本科應化 | 有專利/競賽/科研助手經(jīng)歷 | +5 | 橙子cyx 2026-03-06 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 282求調(diào)劑 +7 | 夕～日 2026-03-05 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑，學校研究所都可以，材料與化工267分 +6 | wmx1 2026-03-05 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 304求調(diào)劑 +4 | 曼殊2266 2026-03-05 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 一志愿西交化工專碩288專業(yè)課93求調(diào)劑 +6 | 好運好運接接 2026-03-04 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 307求調(diào)劑 +4 | xuyuan111 2026-03-04 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 0703化學求調(diào)劑 +3 | 將未有期 2026-03-04 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 347分電子信息專碩求調(diào)劑 +3 | 咕嘟咕嘟1 2026-03-03 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 306求調(diào)劑 +7 | 張張張張oo 2026-03-03 | 7/350 |
|