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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 光刻膠膜層皺紋
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二七九二新蟲 (初入文壇)
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[求助]
光刻膠膜層皺紋 已有1人參與
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目的：在硅片上得到圓柱狀光刻膠。參數(shù)：正性光刻膠AZ4620，每次1000rpm勻膠20um，用棉簽沾丙酮去邊膠，軟烘：90℃15min，再下一次勻膠，重復10次，得到200um厚膠層，曝光機12mJ/平方厘米，曝光200s+400s（曝光200s冷卻后再曝光400s），顯影用1：4稀釋的AZ400K，手動顯影：用鑷子夾住浸沒在顯影液并快速攪動，顯影時間平均在30min，得到的膠層在顯微鏡下看到膜層有嚴重網(wǎng)狀裂紋。 發(fā)自小木蟲手機客戶端 |
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2樓2024-12-02 10:12:09
二七九二
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您好，就是曝光之后在顯微鏡下觀察膜層沒有這種裂紋，所以我猜測可能是顯影出現(xiàn)的問題，所以我懷疑有幾個點：1、顯影手動攪動非常猛烈是否會導致裂紋 2、顯影過程發(fā)現(xiàn)前期溶解速率較快，后期溶解慢：感覺都不是溶解，在顯影液里發(fā)現(xiàn)沒有溶解的小塊狀光刻膠（是否和沒有進行重吸水有關）3、用的顯影液AZ400K每次都用到變血紅色才換掉，是否有影響 發(fā)自小木蟲手機客戶端 |
3樓2024-12-02 15:17:21
二七九二
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4樓2024-12-02 16:41:19
5樓2024-12-11 09:40:58
6樓2024-12-18 21:38:47
zhaowenhuang
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- 專業(yè): 能源化工
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灰色的是襯底，黑色的是圓柱形膠柱？肉眼可見說明需要的分辨率很低吧。如果需要做這個圖形可以試試JSR151，負膠，兩次涂膠110um，5min顯影可到底，陡直profile，一般是做孔用的。不過這個膠挺貴的，不好買，有國產(chǎn)替代品。 發(fā)自小木蟲手機客戶端 |
7樓2025-04-09 23:23:32
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