 |
 |
 |
| 24小時(shí)熱門(mén)版塊排行榜 |
- >論壇更新日志 (2987)
- >蟲(chóng)友互識(shí) (222)
- >導(dǎo)師招生 (213)
- >考研 (195)
- >招聘信息布告欄 (81)
- >文獻(xiàn)求助 (55)
- >休閑灌水 (48)
- >考博 (42)
- >博后之家 (31)
- >碩博家園 (28)
- >基金申請(qǐng) (19)
- >教師之家 (15)
- >論文投稿 (15)
- >SciFinder/Reaxys (9)
- >找工作 (9)
- >公派出國(guó) (7)
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 7 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 2015 | 回復(fù): 6 | ||
| 【懸賞金幣】回答本帖問(wèn)題，作者二七九二將贈(zèng)送您 6 個(gè)金幣 | ||
二七九二新蟲(chóng) (初入文壇)
|
[求助]
光刻膠膜層皺紋 已有1人參與
|
|
|
目的：在硅片上得到圓柱狀光刻膠。參數(shù)：正性光刻膠AZ4620，每次1000rpm勻膠20um，用棉簽沾丙酮去邊膠，軟烘：90℃15min，再下一次勻膠，重復(fù)10次，得到200um厚膠層，曝光機(jī)12mJ/平方厘米，曝光200s+400s（曝光200s冷卻后再曝光400s），顯影用1：4稀釋的AZ400K，手動(dòng)顯影：用鑷子夾住浸沒(méi)在顯影液并快速攪動(dòng)，顯影時(shí)間平均在30min，得到的膠層在顯微鏡下看到膜層有嚴(yán)重網(wǎng)狀裂紋。 發(fā)自小木蟲(chóng)手機(jī)客戶(hù)端 |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
河北大學(xué)-26年秋季入學(xué)化學(xué)博士招生
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
招收2026年入學(xué)博士研究生
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
無(wú)機(jī)化學(xué)論文潤(rùn)色/翻譯怎么收費(fèi)?
已經(jīng)有178人回復(fù)
-
0856材料306分調(diào)劑
已經(jīng)有2人回復(fù)
-
北京航空航天大學(xué)26級(jí)博士招生-生物醫(yī)學(xué)工程-合成生物學(xué)
已經(jīng)有16人回復(fù)
-
溫州大學(xué)王娟課題組2026年招生
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
溫州大學(xué)2026年招生（化學(xué)、材料）
已經(jīng)有10人回復(fù)
2樓2024-12-02 10:12:09
二七九二
新蟲(chóng) (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 58.2
- 帖子: 42
- 在線: 2.9小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 35786581
- 注冊(cè): 2024-11-30
- 專(zhuān)業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
|
您好，就是曝光之后在顯微鏡下觀察膜層沒(méi)有這種裂紋，所以我猜測(cè)可能是顯影出現(xiàn)的問(wèn)題，所以我懷疑有幾個(gè)點(diǎn)：1、顯影手動(dòng)攪動(dòng)非常猛烈是否會(huì)導(dǎo)致裂紋 2、顯影過(guò)程發(fā)現(xiàn)前期溶解速率較快，后期溶解慢：感覺(jué)都不是溶解，在顯影液里發(fā)現(xiàn)沒(méi)有溶解的小塊狀光刻膠（是否和沒(méi)有進(jìn)行重吸水有關(guān)）3、用的顯影液AZ400K每次都用到變血紅色才換掉，是否有影響 發(fā)自小木蟲(chóng)手機(jī)客戶(hù)端 |
3樓2024-12-02 15:17:21
二七九二
新蟲(chóng) (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 58.2
- 帖子: 42
- 在線: 2.9小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 35786581
- 注冊(cè): 2024-11-30
- 專(zhuān)業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
4樓2024-12-02 16:41:19
5樓2024-12-11 09:40:58
6樓2024-12-18 21:38:47
zhaowenhuang
新蟲(chóng) (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 58.2
- 帖子: 79
- 在線: 302.1小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 1159660
- 注冊(cè): 2010-12-01
- 專(zhuān)業(yè): 能源化工
|
灰色的是襯底，黑色的是圓柱形膠柱？肉眼可見(jiàn)說(shuō)明需要的分辨率很低吧。如果需要做這個(gè)圖形可以試試JSR151，負(fù)膠，兩次涂膠110um，5min顯影可到底，陡直profile，一般是做孔用的。不過(guò)這個(gè)膠挺貴的，不好買(mǎi)，有國(guó)產(chǎn)替代品。 發(fā)自小木蟲(chóng)手機(jī)客戶(hù)端 |
7樓2025-04-09 23:23:32
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 二七九二 的主題更新
| 7 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 復(fù)試調(diào)劑 +6 | 呼呼？~+123456 2026-03-08 | 7/350 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 315食品工程求調(diào)劑 +3 | Oreov0 2026-03-06 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 調(diào)劑 +4 | 調(diào)劑的考研學(xué)生 2026-03-09 | 4/200 |
|
|
|
[考博] 2026博士申請(qǐng) +5 | 起泡酒 2026-03-08 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 一志愿山東大學(xué)，總分327，英語(yǔ)二79，有論文，有競(jìng)賽，已過(guò)四六級(jí) +3 | 木木目目1 2026-03-09 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 293一志愿華東理工 0817化學(xué)工程與技術(shù) 調(diào)劑 +5 | fjj0912 2026-03-07 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 083000，總分284，求調(diào)劑 +5 | 徐yr 2026-03-04 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 322分 085600求調(diào)劑，有互聯(lián)網(wǎng)+國(guó)金及主持省級(jí)大創(chuàng)經(jīng)歷 +4 | 熊境喆 2026-03-05 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 一志愿211，0860總分286食品工程專(zhuān)業(yè)求調(diào)劑 +6 | 林林Winnie 2026-03-05 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 289求調(diào)劑 +3 | 馳光絕景 2026-03-04 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 316求調(diào)劑 +3 | 林小星發(fā)大財(cái) 2026-03-05 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 一志愿武理085601專(zhuān)碩347分求調(diào)劑 +4 | 啊歐歐歐 2026-03-04 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +3 | 泡了個(gè)椒 2026-03-04 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 274環(huán)境工程求調(diào)劑 +6 | 扶柳盈江 2026-03-05 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 070300化學(xué) 280 一志愿太原理工 求調(diào)劑 +8 | 拾玖壹 2026-03-04 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 一志愿中科大080500總分324求調(diào)劑 +3 | jorna 2026-03-03 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 武理材料工程302調(diào)劑 +3 | Doleres 2026-03-03 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 能動(dòng)297求調(diào)劑，本科川大 +4 | 邵11 2026-03-04 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 322,求調(diào)劑 +3 | 菜菜愛(ài)玩 2026-03-04 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 293求調(diào)劑 +4 | 是樂(lè)渝哇 2026-03-03 | 4/200 |
|