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| 【懸賞金幣】回答本帖問(wèn)題,作者ws4231153將贈(zèng)送您 10 個(gè)金幣 | ||
ws4231153新蟲(chóng) (小有名氣)
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想把NiCr薄膜做到1Ω怎么實(shí)現(xiàn)啊? 已有1人參與
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| 目前需要磁控濺射的NiCr薄膜做到1Ω,想著加長(zhǎng)濺射時(shí)間增加厚度來(lái)減小電阻,但發(fā)現(xiàn)時(shí)間太久了薄膜出現(xiàn)開(kāi)裂的情況,電阻在5Ω左右,請(qǐng)問(wèn)有什么方法可以解決薄膜厚度太厚導(dǎo)致的開(kāi)裂情況呢?或者減小NiCr薄膜電阻率有什么方法呢? |
木蟲(chóng)之王 (文壇精英)
上善若水,利萬(wàn)物而不爭(zhēng)
新蟲(chóng) (小有名氣)
木蟲(chóng)之王 (文壇精英)
上善若水,利萬(wàn)物而不爭(zhēng)
新蟲(chóng) (初入文壇)
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針對(duì)NiCr薄膜出現(xiàn)開(kāi)裂情況,可以考慮以下方法: 1.降低濺射功率和濺射速率,逐步增加厚度,可以減少薄膜內(nèi)部應(yīng)力的積累,防止出現(xiàn)開(kāi)裂情況。 2.增加基板溫度,可以增加NiCr薄膜的晶粒尺寸,提高膜層的織構(gòu)性,減少應(yīng)力集中,有助于減輕膜層開(kāi)裂。 3.針對(duì)膜層厚度較大的情況,可以進(jìn)行退火處理,消除殘留應(yīng)力,使膜層結(jié)構(gòu)更加完整,從而減少開(kāi)裂現(xiàn)象的發(fā)生。 4.使用多層結(jié)構(gòu)的NiCr薄膜,可以將薄膜分成多個(gè)較薄的層,避免出現(xiàn)單一層厚度過(guò)大而導(dǎo)致的開(kāi)裂問(wèn)題。 為了減小NiCr薄膜電阻率,可以考慮以下方法: 1.優(yōu)化濺射工藝參數(shù),如氣氛、功率、時(shí)間等,以達(dá)到最佳的成膜效果。 2.添加合適數(shù)量的雜質(zhì)元素,如鐵、硅、鉬等,這些元素的加入有助于提高NiCr薄膜的電導(dǎo)率和穩(wěn)定性。 3.選擇更高質(zhì)量的NiCr材料,如制備高純度的NiCr合金材料等。 4.通過(guò)改變基板形狀、加強(qiáng)基板表面清潔度等方式,優(yōu)化基板對(duì)于薄膜生長(zhǎng)的影響。 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶端 |
新蟲(chóng) (小有名氣)
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