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最愛喝牛奶金蟲 (小有名氣)
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[求助]
氧化物薄膜沿厚度中間的位置開裂的原因
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磁控濺射生長氧化物薄膜,無論厚度多少,都會從薄膜厚度中部開裂,原因是什么呢?比如厚度500nm,就會從厚度約250nm處裂開分成上下兩層。肉眼看不出,但是SEM截面下就很清楚。有遇到類似情況的朋友嗎? |


版主 (文學(xué)泰斗)
rky
至尊木蟲 (知名作家)
金蟲 (小有名氣)

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