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最愛喝牛奶金蟲 (小有名氣)
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氧化物薄膜沿厚度中間的位置開裂的原因
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磁控濺射生長氧化物薄膜，無論厚度多少，都會(huì)從薄膜厚度中部開裂，原因是什么呢？比如厚度500nm，就會(huì)從厚度約250nm處裂開分成上下兩層。肉眼看不出，但是SEM截面下就很清楚。有遇到類似情況的朋友嗎？ |
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版主 (文學(xué)泰斗)
rky
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最愛喝牛奶2樓2023-02-01 10:35:05
liyanguo2000
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3樓2023-02-01 11:22:18
最愛喝牛奶
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4樓2023-02-01 14:45:45
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板兒磚Brick
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6樓2024-08-21 16:36:51
7樓2024-08-30 22:47:00
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