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最愛喝牛奶金蟲 (小有名氣)
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[求助]
氧化物薄膜沿厚度中間的位置開裂的原因
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磁控濺射生長氧化物薄膜，無論厚度多少，都會從薄膜厚度中部開裂，原因是什么呢？比如厚度500nm，就會從厚度約250nm處裂開分成上下兩層。肉眼看不出，但是SEM截面下就很清楚。有遇到類似情況的朋友嗎？ |
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金蟲 (小有名氣)
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4樓2023-02-01 14:45:45
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3樓2023-02-01 11:22:18
5樓2023-02-04 20:07:46
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