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半寸日光新蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射抽真空過(guò)程中更換電離規(guī)后真空度總是抽不下去是什么原因？ 已有1人參與
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磁控濺射時(shí)原先的電離規(guī)時(shí)常出現(xiàn)超量程或者反復(fù)波動(dòng)或者電離規(guī)時(shí)開(kāi)時(shí)關(guān)現(xiàn)象，更換電離規(guī)后抽真空時(shí)間特別特別特別慢，真空度總是抽不下去，用酒精注射未發(fā)現(xiàn)真空度升高現(xiàn)象，用沒(méi)換之前的電離規(guī)重復(fù)試了下，雖然過(guò)程中出現(xiàn)完全打開(kāi)主閥后示數(shù)直接變成1.0*10-4Pa，后面波動(dòng)后又能慢慢從高往低正常下降，真空度可以抽下去，更換電離規(guī)之后真空度為什么總有漏氣？因?yàn)槊芊馊p壞了嗎？ 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
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4樓2023-08-15 20:02:39
Heart7411
銅蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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2樓2022-05-10 19:38:21
半寸日光
新蟲(chóng) (小有名氣)
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- 專業(yè): 機(jī)械工程
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感謝，您好，我試過(guò)兩個(gè)新的電離規(guī)，反復(fù)裝了好幾次，連密封圈都換新的了幾次，注射酒精試了幾次，沒(méi)什么明顯氣壓變化，就是感覺(jué)有微漏，最近又把舊的換上去了，舊的之前估計(jì)接線不良，之前老是出現(xiàn)主閥完全打開(kāi)后，示數(shù)直接變成1.*10-4或者超量程，然后慢慢變高，再正常下降，真空度半小時(shí)可以抽到5.0*10-4，現(xiàn)在重新調(diào)整接線后，可以正常下降了，但是舊的這次實(shí)驗(yàn)前后真空度抽到5.0*10-4后，隔了一夜氣壓大概在420Pa左右，設(shè)備是JGP450，別人之前跟我說(shuō)抽到-4以下的話，隔了一天后真空度一般是100Pa左右，一般真空度可以抽下去后，這個(gè)隔了一天的腔體內(nèi)的氣壓400多也是代表不漏氣吧？ 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
3樓2022-05-15 23:00:18
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