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半寸日光新蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射抽真空過程中更換電離規(guī)后真空度總是抽不下去是什么原因? 已有1人參與
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磁控濺射時原先的電離規(guī)時常出現(xiàn)超量程或者反復(fù)波動或者電離規(guī)時開時關(guān)現(xiàn)象,更換電離規(guī)后抽真空時間特別特別特別慢,真空度總是抽不下去,用酒精注射未發(fā)現(xiàn)真空度升高現(xiàn)象,用沒換之前的電離規(guī)重復(fù)試了下,雖然過程中出現(xiàn)完全打開主閥后示數(shù)直接變成1.0*10-4Pa,后面波動后又能慢慢從高往低正常下降,真空度可以抽下去,更換電離規(guī)之后真空度為什么總有漏氣?因為密封圈損壞了嗎? 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
新蟲 (小有名氣)
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感謝,您好,我試過兩個新的電離規(guī),反復(fù)裝了好幾次,連密封圈都換新的了幾次,注射酒精試了幾次,沒什么明顯氣壓變化,就是感覺有微漏,最近又把舊的換上去了,舊的之前估計接線不良,之前老是出現(xiàn)主閥完全打開后,示數(shù)直接變成1.*10-4或者超量程,然后慢慢變高,再正常下降,真空度半小時可以抽到5.0*10-4,現(xiàn)在重新調(diào)整接線后,可以正常下降了,但是舊的這次實驗前后真空度抽到5.0*10-4后,隔了一夜氣壓大概在420Pa左右,設(shè)備是JGP450,別人之前跟我說抽到-4以下的話,隔了一天后真空度一般是100Pa左右,一般真空度可以抽下去后,這個隔了一天的腔體內(nèi)的氣壓400多也是代表不漏氣吧? 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
銅蟲 (正式寫手)
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