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磁控濺射抽真空過程中更換電離規(guī)后真空度總是抽不下去是什么原因？ 已有1人參與
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磁控濺射時原先的電離規(guī)時常出現(xiàn)超量程或者反復波動或者電離規(guī)時開時關現(xiàn)象，更換電離規(guī)后抽真空時間特別特別特別慢，真空度總是抽不下去，用酒精注射未發(fā)現(xiàn)真空度升高現(xiàn)象，用沒換之前的電離規(guī)重復試了下，雖然過程中出現(xiàn)完全打開主閥后示數(shù)直接變成1.0*10-4Pa，后面波動后又能慢慢從高往低正常下降，真空度可以抽下去，更換電離規(guī)之后真空度為什么總有漏氣？因為密封圈損壞了嗎？ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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Heart7411
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- 專業(yè): 半導體材料
2樓2022-05-10 19:38:21
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感謝，您好，我試過兩個新的電離規(guī)，反復裝了好幾次，連密封圈都換新的了幾次，注射酒精試了幾次，沒什么明顯氣壓變化，就是感覺有微漏，最近又把舊的換上去了，舊的之前估計接線不良，之前老是出現(xiàn)主閥完全打開后，示數(shù)直接變成1.*10-4或者超量程，然后慢慢變高，再正常下降，真空度半小時可以抽到5.0*10-4，現(xiàn)在重新調整接線后，可以正常下降了，但是舊的這次實驗前后真空度抽到5.0*10-4后，隔了一夜氣壓大概在420Pa左右，設備是JGP450，別人之前跟我說抽到-4以下的話，隔了一天后真空度一般是100Pa左右，一般真空度可以抽下去后，這個隔了一天的腔體內的氣壓400多也是代表不漏氣吧？ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
3樓2022-05-15 23:00:18
4樓2023-08-15 20:02:39
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