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klxdzh銅蟲 (初入文壇)
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[求助]
40nm厚氧化鋁絕緣層總是被擊穿 已有2人參與
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| 最近使用電子束蒸發(fā)制備的氧化鋁絕緣層總是被擊穿，就是金屬/氧化鋁/金屬這種三明治結(jié)構(gòu)的。氧化鋁厚度40nm,金屬厚度50nm,做好后測量兩金屬電極之間電流有將近uA 級(jí)，有蟲友知道是哪的問題嗎 |
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klxdzh
銅蟲 (初入文壇)
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3樓2022-01-16 20:40:30
babyoflion
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2樓2022-01-16 20:37:33
babyoflion
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4樓2022-01-16 20:45:32
klxdzh
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5樓2022-01-16 20:54:28
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