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klxdzh銅蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
40nm厚氧化鋁絕緣層總是被擊穿 已有2人參與
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| 最近使用電子束蒸發(fā)制備的氧化鋁絕緣層總是被擊穿，就是金屬/氧化鋁/金屬這種三明治結(jié)構(gòu)的。氧化鋁厚度40nm,金屬厚度50nm,做好后測(cè)量?jī)山饘匐姌O之間電流有將近uA 級(jí)，有蟲(chóng)友知道是哪的問(wèn)題嗎 |
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babyoflion
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2樓2022-01-16 20:37:33
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4樓2022-01-16 20:45:32
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5樓2022-01-16 20:54:28
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9樓2022-01-20 16:49:17
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