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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納器件 » 40nm厚氧化鋁絕緣層總是被擊穿
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klxdzh銅蟲 (初入文壇)
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40nm厚氧化鋁絕緣層總是被擊穿 已有2人參與
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| 最近使用電子束蒸發(fā)制備的氧化鋁絕緣層總是被擊穿，就是金屬/氧化鋁/金屬這種三明治結(jié)構(gòu)的。氧化鋁厚度40nm,金屬厚度50nm,做好后測量兩金屬電極之間電流有將近uA 級，有蟲友知道是哪的問題嗎 |
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9樓2022-01-20 16:49:17
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