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半導(dǎo)體奇才新蟲 (初入文壇)
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[求助]
ALD生長薄膜出現(xiàn)漸變色求助！ 已有1人參與
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用ALD生長的hf0.5zr0.5o2，280℃的溫度，長出來的薄膜在TiN上顏色不均勻，呈現(xiàn)紫色到金光的漸變色，這是為什么呀。同一批在Si上面生長的卻很均勻，但看臉有時也不均勻，這是因為前驅(qū)體過多或沒吹掃夠嗎？跪謝！ @hwweven 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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2樓2021-10-18 08:47:33
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3樓2021-10-18 14:37:57
半導(dǎo)體奇才
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- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
我看他們不是經(jīng)常有往孔洞里ald沉積的嗎4樓2021-10-18 18:17:07
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5樓2021-10-18 18:17:40
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6樓2021-10-18 19:30:56
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我調(diào)整后，在TiN上生長也很均勻了，但是和硅片比顏色差距很大。 但我用高溫膠帶做遮擋留底電極的片子卻沒法長上去，您知道有什么可以做遮擋的辦法嗎？ 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
7樓2021-10-20 09:09:48
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