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半導(dǎo)體奇才新蟲 (初入文壇)
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[求助]
ALD生長(zhǎng)薄膜出現(xiàn)漸變色求助！ 已有1人參與
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用ALD生長(zhǎng)的hf0.5zr0.5o2，280℃的溫度，長(zhǎng)出來的薄膜在TiN上顏色不均勻，呈現(xiàn)紫色到金光的漸變色，這是為什么呀。同一批在Si上面生長(zhǎng)的卻很均勻，但看臉有時(shí)也不均勻，這是因?yàn)榍膀?qū)體過多或沒吹掃夠嗎？跪謝！ @hwweven 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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半導(dǎo)體奇才
新蟲 (初入文壇)
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- 蟲號(hào): 26265824
- 注冊(cè): 2021-04-23
- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
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我調(diào)整后，在TiN上生長(zhǎng)也很均勻了，但是和硅片比顏色差距很大。 但我用高溫膠帶做遮擋留底電極的片子卻沒法長(zhǎng)上去，您知道有什么可以做遮擋的辦法嗎？ 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
7樓2021-10-20 09:09:48
2樓2021-10-18 08:47:33
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本帖內(nèi)容被屏蔽 |
3樓2021-10-18 14:37:57
半導(dǎo)體奇才
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TiN是我自己生長(zhǎng)的，感覺厚度差距不會(huì)太大最多10nm，這個(gè)應(yīng)該不會(huì)影響吧  我看他們不是經(jīng)常有往孔洞里ald沉積的嗎發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
4樓2021-10-18 18:17:07
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