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半導(dǎo)體奇才新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
ALD生長(zhǎng)薄膜出現(xiàn)漸變色求助！ 已有1人參與
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用ALD生長(zhǎng)的hf0.5zr0.5o2，280℃的溫度，長(zhǎng)出來(lái)的薄膜在TiN上顏色不均勻，呈現(xiàn)紫色到金光的漸變色，這是為什么呀。同一批在Si上面生長(zhǎng)的卻很均勻，但看臉有時(shí)也不均勻，這是因?yàn)榍膀?qū)體過(guò)多或沒(méi)吹掃夠嗎？跪謝！ @hwweven 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶端 |
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本帖內(nèi)容被屏蔽 |
6樓2021-10-18 19:30:56
2樓2021-10-18 08:47:33
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本帖內(nèi)容被屏蔽 |
3樓2021-10-18 14:37:57
半導(dǎo)體奇才
新蟲(chóng) (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 41
- 帖子: 21
- 在線: 6.2小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 26265824
- 注冊(cè): 2021-04-23
- 專(zhuān)業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
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TiN是我自己生長(zhǎng)的，感覺(jué)厚度差距不會(huì)太大最多10nm，這個(gè)應(yīng)該不會(huì)影響吧  我看他們不是經(jīng)常有往孔洞里ald沉積的嗎發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶端 |
4樓2021-10-18 18:17:07
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