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jinzhao628新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
請(qǐng)教各位納米加工大神，為什么在Ag上鍍TiO2薄膜的光譜總是和理論對(duì)不上
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結(jié)構(gòu)比較簡(jiǎn)單，就是單純的一維結(jié)構(gòu)，在硅基底上先鍍一層銀，再鍍一層TiO2 嘗試過(guò)用ALD鍍TiO2（前驅(qū)體為TiCl4），結(jié)果發(fā)現(xiàn)在高溫過(guò)程后TiO2生長(zhǎng)的很不均勻，光譜也和理論解對(duì)不上，薄膜表面存在可見(jiàn)的氣泡 嘗試過(guò)用磁控濺射鍍兩層結(jié)構(gòu)，分別標(biāo)定了折射率和厚度均沒(méi)問(wèn)題后，兩層結(jié)構(gòu)加工在一起就和理論解有極大的差別，不知為何銀在可見(jiàn)光長(zhǎng)波段和近紅外區(qū)域的反射能力都被破壞了（靶材用的是導(dǎo)電的TiO2靶材，黑色，可能存在摻雜元素） 嘗試過(guò)用電子束蒸鍍鍍雙層結(jié)構(gòu)，但會(huì)出現(xiàn)TiO2折射率偏小的問(wèn)題（可能只有2.0~2.1），光譜和理論也對(duì)不上 請(qǐng)教一下各位大神上述加工失敗的原因可能是什么，如何解決呢？ 考慮到納米銀薄膜和納米TiO2薄膜的特性，用什么工藝加工這種結(jié)構(gòu)比較合適呢？ 跪謝 |
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2樓2021-05-30 18:24:47
jinzhao628
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3樓2021-05-30 21:00:56
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我就ALD鍍過(guò)二氧化鈦，可以先沉積層氧化鋁，再沉積二氧化鈦，光學(xué)膜二氧化鈦也得摻雜氧化鋁，看你對(duì)折射率和膜厚要求了 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶端 |
4樓2021-05-31 01:20:31
jinzhao628
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5樓2021-05-31 10:21:18
jinzhao628: 回帖置頂 2021-05-31 15:13:33
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先沉積氧化鋁是想把銀和氧化鈦隔開(kāi)，有沒(méi)有用做了才知道，有四五個(gè)納米應(yīng)該就夠。沉積溫度高分別對(duì)應(yīng)銳鈦礦和金紅石，摻點(diǎn)氧化鋁抑制晶粒長(zhǎng)大，這樣透過(guò)率和表面形貌得以控制，具體摻雜比例還看你需求，多試試了。 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶端 |
6樓2021-05-31 14:26:55
jinzhao628
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7樓2021-05-31 15:12:37
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