| 6 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 1453 | 回復(fù): 5 | ||||
[交流]
磁控濺射的疑惑 已有5人參與
|
| 如題,采用磁控濺射,靶材如果是高純石墨,得到的薄膜為無定型碳結(jié)構(gòu),和靶材結(jié)構(gòu)差異性很大,但靶材如果是ITO靶,也就是氧化銦錫靶,得到的薄膜卻與靶材結(jié)構(gòu)近似,這是不是因?yàn)闅辶W拥霓Z擊過程,破壞了石墨的原子結(jié)構(gòu),那如果是這樣的,濺射ITO的過程,為什么不會破壞ITO的結(jié)構(gòu)。 |
磁控濺射鍍膜工藝 |

新蟲 (小有名氣)

捐助貴賓 (初入文壇)
銀蟲 (小有名氣)
| 6 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|