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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料物理 » 磁控濺射的疑惑
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[交流]
磁控濺射的疑惑 已有5人參與
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| 如題，采用磁控濺射，靶材如果是高純石墨，得到的薄膜為無定型碳結構，和靶材結構差異性很大，但靶材如果是ITO靶，也就是氧化銦錫靶，得到的薄膜卻與靶材結構近似，這是不是因為氬粒子的轟擊過程，破壞了石墨的原子結構，那如果是這樣的，濺射ITO的過程，為什么不會破壞ITO的結構。 |
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 磁控濺射鍍膜工藝 |
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2樓2020-07-15 07:32:03
3樓2020-07-16 10:13:09
sciencetechn
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4樓2020-12-24 10:41:52
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5樓2020-12-24 16:42:41
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6樓2021-05-19 14:59:27
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