 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 7 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 3479 | 回復(fù): 6 | ||||
Andre_W銀蟲 (小有名氣)
|
[交流]
SU8光刻膠顯影后表面密密麻麻的黑斑 已有4人參與
|
|
MEMS，我們是做Pancake工藝，旋涂完SU8光阻液旋涂25um厚度后90度10min，然后110度30分，曝光能量給到140mj/cm2，曝后60度20min，PGMEA顯影6分鐘，顯微鏡下觀察密密麻麻黑斑（確認(rèn)為表面過刻蝕形成的坑），想問下老大們，怎么消除這些黑斑（坑）。 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
招收2026年入學(xué)博士研究生
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
0856材料306分調(diào)劑
已經(jīng)有2人回復(fù)
-
金屬材料論文潤色/翻譯怎么收費(fèi)?
已經(jīng)有250人回復(fù)
-
北京航空航天大學(xué)26級博士招生-生物醫(yī)學(xué)工程-合成生物學(xué)
已經(jīng)有16人回復(fù)
-
溫州大學(xué)王娟課題組2026年招生
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
溫州大學(xué)2026年招生（化學(xué)、材料）
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
招生負(fù)責(zé)_院士團(tuán)隊(duì)_學(xué)生高自由度成長_擅長學(xué)生培養(yǎng)
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
溫州大學(xué)招收2026年入學(xué)博士研究生（化學(xué)、材料、環(huán)境）
已經(jīng)有0人回復(fù)
★
小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
supernatural: 金幣-2, 帖子里不允許留下聯(lián)系方式，已編輯掉 2020-05-27 12:53:37
小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
supernatural: 金幣-2, 帖子里不允許留下聯(lián)系方式，已編輯掉 2020-05-27 12:53:37
|
可以排除法去分析：首先看一下是那個(gè)步驟中產(chǎn)生的黑點(diǎn)？涂膠？烘烤后？顯影后？ 其次，分析一下有可能是污染還是氣泡？ 25um厚膠有幾點(diǎn)需要注意：①判斷有沒有稀釋過？取膠有沒有引入氣體？有沒有可能引入污染？②膠很厚，前烘不要用烘箱，一定要用熱板，一定要烘透，否則殘存的溶劑會(huì)形成氣泡；③光刻膠有沒有過期？過期的膠曝光后會(huì)有含n氣體逸出 |
» 本帖已獲得的紅花（最新10朵）
Andre_W2樓2020-05-25 17:00:40
Andre_W
銀蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 787.3
- 散金: 30
- 沙發(fā): 1
- 帖子: 193
- 在線: 7.5小時(shí)
- 蟲號: 21989520
- 注冊: 2020-04-26
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體電子器件
3樓2020-05-25 20:13:52
Andre_W
銀蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 787.3
- 散金: 30
- 沙發(fā): 1
- 帖子: 193
- 在線: 7.5小時(shí)
- 蟲號: 21989520
- 注冊: 2020-04-26
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體電子器件
|
1.顯影以后發(fā)現(xiàn)的，表面是個(gè)坑狀黑點(diǎn)；2.前烘我們沒有氣體，我們只有烤箱，非熱板（現(xiàn)在是110度30分鐘，是不是需要加長時(shí)間）3.顯影我們使用的PGMEA和異丙醇；不太像是臟污，膜的表面沒有只有結(jié)構(gòu)層的空穴處有這個(gè)黑點(diǎn) 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
4樓2020-05-25 21:40:16
yswyx 
專家顧問 (著名寫手)
-
專家經(jīng)驗(yàn): +651 - MN-EPI: 8
- 應(yīng)助: 807 (博后)
- 貴賓: 0.204
- 金幣: 2618.1
- 散金: 6018
- 紅花: 112
- 帖子: 2705
- 在線: 577.8小時(shí)
- 蟲號: 446878
- 注冊: 2007-10-30
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
- 管轄: 微米和納米
★
小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
|
從你的工藝條件看，你用的GM10xx系列的SU8，他們家的SU8烘烤時(shí)間太長了。 而且估計(jì)你沒有做排泡，微泡會(huì)形成坑洞。另外，你用的烘箱，這個(gè)是很大的一個(gè)問題點(diǎn)，25um厚度的SU8，是強(qiáng)烈不建議用烘箱做的。 我覺得你首先光刻膠買錯(cuò)了，其次工藝和工具都有問題。你私信我吧，或者直接找研材微納的技術(shù)部門來咨詢。也可以申請SU8工藝培訓(xùn)。 另外，你最好貼一下照片，因?yàn)槟闼^的膜的表面沒有，而是結(jié)構(gòu)層的空穴處有，這個(gè)實(shí)在不好理解。我猜測你是想說，SU8的表面沒有任何問題，而是被顯影的地方有各種黑斑。那一般我們認(rèn)為是顯影不潔，會(huì)有很多的麻點(diǎn)存在。顯影時(shí)間不夠，過度烘烤，襯底的問題，都有可能。還是具體咨詢吧，貼子里面說不完的。 |
5樓2020-05-29 12:42:33
18681127092
新蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 38.3
- 帖子: 16
- 在線: 6.1小時(shí)
- 蟲號: 23397009
- 注冊: 2020-08-20
- 性別: GG
6樓2020-09-13 10:02:30
呼啦啦1207
新蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 126.8
- 散金: 7
- 帖子: 94
- 在線: 21.8小時(shí)
- 蟲號: 4366498
- 注冊: 2016-01-19
- 專業(yè): 電機(jī)與電器
7樓2020-09-18 20:21:12
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 Andre_W 的主題更新
| 7 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 材料與化工，291，求調(diào)劑 +12 | 咕嚕咕嚕123123 2026-03-05 | 13/650 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] A區(qū)一本交叉課題組，低分調(diào)劑，招收機(jī)械電子信息通信等交叉方向 +55 | lisimayy 2026-03-04 | 68/3400 |
|
|
|
[碩博家園] 木蟲好像不熱鬧了，是不是？ +4 | 偏振片 2026-03-10 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 材料工程085601調(diào)劑求老師收留 +5 | 強(qiáng)木木木 2026-03-07 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 310 070300化學(xué)求調(diào)劑 +4 | 撲風(fēng)鈴的貓 2026-03-08 | 5/250 |
|
|
[考研] 334求調(diào)劑 +5 | Trying] 2026-03-07 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 考研調(diào)劑，一志愿山東大學(xué)材料與化工，328分，政治51 +5 | 關(guān)你西紅柿929 2026-03-08 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 0856求調(diào)劑 +3 | squirtle11 2026-03-07 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 293一志愿華東理工 0817化學(xué)工程與技術(shù) 調(diào)劑 +5 | fjj0912 2026-03-07 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 一志愿武理314求調(diào)劑 +4 | （￣～￣;） 2026-03-08 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 290求調(diào)劑 +6 | Bananaiy 2026-03-04 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 安徽農(nóng)業(yè)大學(xué)材料與化學(xué)學(xué)院0856材料招收調(diào)劑 +3 | akakk47 2026-03-05 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 269求調(diào)劑 +3 | 朔朔話 2026-03-08 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 085701環(huán)境工程專業(yè)，初試305，均過國家A區(qū)線 +7 | 卡卡來了@ 2026-03-07 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 2026調(diào)劑】考試A區(qū)0703化學(xué)類323分 誠求接收 +3 | 卷柏卷柏 2026-03-05 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 085602 293分求調(diào)劑 +3 | SivanNano. 2026-03-05 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +3 | 泡了個(gè)椒 2026-03-04 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 307求調(diào)劑 +4 | xuyuan111 2026-03-04 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 能動(dòng)297求調(diào)劑，本科川大 +4 | 邵11 2026-03-04 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 281求調(diào)劑 +3 | Y?l?h 2026-03-04 | 3/150 |
|