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Andre_W銀蟲 (小有名氣)
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[交流]
SU8光刻膠顯影后表面密密麻麻的黑斑 已有4人參與
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MEMS，我們是做Pancake工藝，旋涂完SU8光阻液旋涂25um厚度后90度10min，然后110度30分，曝光能量給到140mj/cm2，曝后60度20min，PGMEA顯影6分鐘，顯微鏡下觀察密密麻麻黑斑（確認為表面過刻蝕形成的坑），想問下老大們，怎么消除這些黑斑（坑）。 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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Andre_W
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送紅花一朵 3樓2020-05-25 20:13:52
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
supernatural: 金幣-2, 帖子里不允許留下聯(lián)系方式，已編輯掉 2020-05-27 12:53:37
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supernatural: 金幣-2, 帖子里不允許留下聯(lián)系方式，已編輯掉 2020-05-27 12:53:37
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可以排除法去分析：首先看一下是那個步驟中產(chǎn)生的黑點？涂膠？烘烤后？顯影后？ 其次，分析一下有可能是污染還是氣泡？ 25um厚膠有幾點需要注意：①判斷有沒有稀釋過？取膠有沒有引入氣體？有沒有可能引入污染？②膠很厚，前烘不要用烘箱，一定要用熱板，一定要烘透，否則殘存的溶劑會形成氣泡；③光刻膠有沒有過期？過期的膠曝光后會有含n氣體逸出 |
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2樓2020-05-25 17:00:40
Andre_W
銀蟲 (小有名氣)
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1.顯影以后發(fā)現(xiàn)的，表面是個坑狀黑點；2.前烘我們沒有氣體，我們只有烤箱，非熱板（現(xiàn)在是110度30分鐘，是不是需要加長時間）3.顯影我們使用的PGMEA和異丙醇；不太像是臟污，膜的表面沒有只有結(jié)構(gòu)層的空穴處有這個黑點 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
4樓2020-05-25 21:40:16
yswyx 
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
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從你的工藝條件看，你用的GM10xx系列的SU8，他們家的SU8烘烤時間太長了。 而且估計你沒有做排泡，微泡會形成坑洞。另外，你用的烘箱，這個是很大的一個問題點，25um厚度的SU8，是強烈不建議用烘箱做的。 我覺得你首先光刻膠買錯了，其次工藝和工具都有問題。你私信我吧，或者直接找研材微納的技術(shù)部門來咨詢。也可以申請SU8工藝培訓(xùn)。 另外，你最好貼一下照片，因為你所謂的膜的表面沒有，而是結(jié)構(gòu)層的空穴處有，這個實在不好理解。我猜測你是想說，SU8的表面沒有任何問題，而是被顯影的地方有各種黑斑。那一般我們認為是顯影不潔，會有很多的麻點存在。顯影時間不夠，過度烘烤，襯底的問題，都有可能。還是具體咨詢吧，貼子里面說不完的。 |
5樓2020-05-29 12:42:33
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