 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 8 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 1743 | 回復(fù): 7 | |||
分子級(jí)篩子新蟲(chóng) (小有名氣)
|
[交流]
微納結(jié)構(gòu)刻蝕側(cè)壁粗糙度問(wèn)題 已有4人參與
|
|
硅基玻璃用氫氟酸多次刻蝕，側(cè)壁上會(huì)有明顯的刻蝕條紋，用化學(xué)生長(zhǎng)法處理過(guò)，效果很爛。哪里出了問(wèn)題？還有什么方法能處理微結(jié)構(gòu)表面（尤其是側(cè)面）？ 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
XPS/?λXPS
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
河北大學(xué)-26年秋季入學(xué)化學(xué)博士招生
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
無(wú)機(jī)化學(xué)論文潤(rùn)色/翻譯怎么收費(fèi)?
已經(jīng)有250人回復(fù)
-
招收2026年入學(xué)博士研究生
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
0856材料306分調(diào)劑
已經(jīng)有2人回復(fù)
-
北京航空航天大學(xué)26級(jí)博士招生-生物醫(yī)學(xué)工程-合成生物學(xué)
已經(jīng)有13人回復(fù)
zuopeng142
鐵蟲(chóng) (小有名氣)
- 應(yīng)助: 2 (幼兒園)
- 金幣: 909.8
- 紅花: 1
- 帖子: 210
- 在線: 19.4小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 1173829
- 注冊(cè): 2010-12-20
- 專(zhuān)業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
★
小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
|
什么結(jié)構(gòu)呢?為什么要多次蝕刻，得講明白才能分析啊 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
2樓2020-03-29 23:35:37
分子級(jí)篩子
新蟲(chóng) (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 240.2
- 散金: 40
- 帖子: 88
- 在線: 3.6小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 21592110
- 注冊(cè): 2020-03-24
- 性別: GG
- 專(zhuān)業(yè): 高分子組裝與超分子結(jié)構(gòu)
|
10*100微米的長(zhǎng)方形溝槽（硼硅玻璃），刻蝕100微米深，發(fā)現(xiàn)配好的刻蝕溶液會(huì)腐蝕側(cè)壁，一次刻不出來(lái)，就改成多次刻蝕，就是刻蝕5微米深，清洗干凈，做了側(cè)壁保護(hù)（PMMA光刻膠），再繼續(xù)刻蝕，結(jié)果側(cè)壁腐蝕減輕，已經(jīng)達(dá)到能接受的程度，這個(gè)方法太麻煩了。想問(wèn)問(wèn)有沒(méi)有只向下腐蝕，不向兩側(cè)壁腐蝕的方法。或者其他加工方法？ 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
3樓2020-03-31 23:33:13
zuopeng142
鐵蟲(chóng) (小有名氣)
- 應(yīng)助: 2 (幼兒園)
- 金幣: 909.8
- 紅花: 1
- 帖子: 210
- 在線: 19.4小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 1173829
- 注冊(cè): 2010-12-20
- 專(zhuān)業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
4樓2020-04-02 09:50:31
liupan66
新蟲(chóng) (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 151.8
- 帖子: 49
- 在線: 10.9小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 12933820
- 注冊(cè): 2018-11-23
- 專(zhuān)業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
5樓2020-04-05 21:07:37
yswyx 
專(zhuān)家顧問(wèn) (著名寫(xiě)手)
-
專(zhuān)家經(jīng)驗(yàn): +651 - MN-EPI: 8
- 應(yīng)助: 807 (博后)
- 貴賓: 0.204
- 金幣: 2618.1
- 散金: 6018
- 紅花: 112
- 帖子: 2705
- 在線: 577.8小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 446878
- 注冊(cè): 2007-10-30
- 性別: GG
- 專(zhuān)業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
- 管轄: 微米和納米
6樓2020-04-07 16:21:07
智慧之路
新蟲(chóng) (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 54.5
- 帖子: 23
- 在線: 4.8小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 8709993
- 注冊(cè): 2018-05-09
- 性別: GG
- 專(zhuān)業(yè): 電化學(xué)
7樓2020-04-07 20:52:00
zuopeng142
鐵蟲(chóng) (小有名氣)
- 應(yīng)助: 2 (幼兒園)
- 金幣: 909.8
- 紅花: 1
- 帖子: 210
- 在線: 19.4小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 1173829
- 注冊(cè): 2010-12-20
- 專(zhuān)業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
★
小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
|
干法蝕刻是可以的，就是對(duì)設(shè)備和掩膜有要求。蘇納的NLD570這種機(jī)型可以刻這么深，就是不知道他們的配置對(duì)不對(duì) 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
8樓2020-04-08 11:27:33
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 分子級(jí)篩子 的主題更新
| 8 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 302材料工程求調(diào)劑 +7 | Doleres 2026-03-01 | 8/400 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] 化學(xué) 0703求調(diào)劑 總分293 一志愿211 +9 | 土土小蟲(chóng) 2026-03-03 | 11/550 |
|
|
[考研] 22408-273求調(diào)劑-擔(dān)任3個(gè)項(xiàng)目的負(fù)責(zé)人-1篇國(guó)際期刊論文（一作）1篇核心期刊論文在投。 +3 | 沒(méi)想好取什么名 2026-03-03 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 化學(xué)工程求調(diào)劑 +10 | 化工人999 2026-03-04 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 070300調(diào)劑一志愿南京大學(xué)化學(xué)專(zhuān)業(yè)，初試273分，有論文有專(zhuān)利有競(jìng)賽，求調(diào)劑B區(qū)211 +3 | 82206202 2026-02-28 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 312求調(diào)劑 +8 | 醋精華了一下發(fā)?/a> 2026-03-03 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +3 | 泡了個(gè)椒 2026-03-04 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 281求調(diào)劑 +3 | 我是小小蔥蔥 2026-03-03 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 0854總分272 +5 | 打小就是老實(shí)人 2026-03-02 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 0703化學(xué)306調(diào)劑 +4 | 26要上岸 2026-03-03 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 江蘇省農(nóng)科院招調(diào)劑1名 +5 | Qwertyuop 2026-03-01 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +4 | Guo_yuxuan 2026-03-02 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 284求調(diào)劑 +6 | 天下熯 2026-03-02 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 11408，學(xué)碩276求調(diào)劑 +3 | 崔wj 2026-03-02 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 材料085601調(diào)劑 +5 | 多多子. 2026-03-02 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 一志愿中石油（華東）本科齊魯工業(yè)大學(xué) +3 | 石能偉 2026-03-02 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 一志愿東北大學(xué)材料專(zhuān)碩328，求調(diào)劑 +3 | shs1083 2026-03-02 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 265分求調(diào)劑不調(diào)專(zhuān)業(yè)和學(xué)校有行學(xué)上就 +6 | 禮堂丁真258 2026-02-28 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 275求調(diào)劑 +3 | L-xin? 2026-03-01 | 6/300 |
|
|
|
[論文投稿]
Optics letters投稿被拒求助
 30+3
|
luckyry 2026-02-26 | 4/200 |
|