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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 學術討論 » 微納結構刻蝕側壁粗糙度問題
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分子級篩子新蟲 (小有名氣)
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[交流]
微納結構刻蝕側壁粗糙度問題 已有4人參與
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硅基玻璃用氫氟酸多次刻蝕，側壁上會有明顯的刻蝕條紋，用化學生長法處理過，效果很爛。哪里出了問題？還有什么方法能處理微結構表面（尤其是側面）？ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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liupan66
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5樓2020-04-05 21:07:37
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10*100微米的長方形溝槽（硼硅玻璃），刻蝕100微米深，發(fā)現(xiàn)配好的刻蝕溶液會腐蝕側壁，一次刻不出來，就改成多次刻蝕，就是刻蝕5微米深，清洗干凈，做了側壁保護（PMMA光刻膠），再繼續(xù)刻蝕，結果側壁腐蝕減輕，已經達到能接受的程度，這個方法太麻煩了。想問問有沒有只向下腐蝕，不向兩側壁腐蝕的方法�；蛘咂渌庸し椒ǎ� 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
3樓2020-03-31 23:33:13
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4樓2020-04-02 09:50:31
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