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分子級(jí)篩子新蟲(chóng) (小有名氣)
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[交流]
微納結(jié)構(gòu)刻蝕側(cè)壁粗糙度問(wèn)題 已有4人參與
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硅基玻璃用氫氟酸多次刻蝕，側(cè)壁上會(huì)有明顯的刻蝕條紋，用化學(xué)生長(zhǎng)法處理過(guò)，效果很爛。哪里出了問(wèn)題？還有什么方法能處理微結(jié)構(gòu)表面（尤其是側(cè)面）？ 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
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zuopeng142
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小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
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干法蝕刻是可以的，就是對(duì)設(shè)備和掩膜有要求。蘇納的NLD570這種機(jī)型可以刻這么深，就是不知道他們的配置對(duì)不對(duì) 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
8樓2020-04-08 11:27:33
zuopeng142
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2樓2020-03-29 23:35:37
分子級(jí)篩子
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10*100微米的長(zhǎng)方形溝槽（硼硅玻璃），刻蝕100微米深，發(fā)現(xiàn)配好的刻蝕溶液會(huì)腐蝕側(cè)壁，一次刻不出來(lái)，就改成多次刻蝕，就是刻蝕5微米深，清洗干凈，做了側(cè)壁保護(hù)（PMMA光刻膠），再繼續(xù)刻蝕，結(jié)果側(cè)壁腐蝕減輕，已經(jīng)達(dá)到能接受的程度，這個(gè)方法太麻煩了。想問(wèn)問(wèn)有沒(méi)有只向下腐蝕，不向兩側(cè)壁腐蝕的方法�；蛘咂渌庸し椒�？ 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
3樓2020-03-31 23:33:13
zuopeng142
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4樓2020-04-02 09:50:31
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