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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 學術討論 » EDS點掃的有效測量面積最小是多少啊
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jane_stony新蟲 (初入文壇)
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[求助]
EDS點掃的有效測量面積最小是多少啊 已有2人參與
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| 之前測了EDS，其中有一個打點的區(qū)域寬0.1μm長0.5μm左右，打出來成分和預期差得有點大，所以想知道這個點有沒有小過EDS點掃的有效測量面積，會不會掃到邊上的相了？ |
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6樓2020-02-07 17:57:23
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2樓2020-02-05 17:46:28
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EDS能譜打點要求高的計數率，定量才準。而為了高的計數率，需要選擇高的加速電壓。加速電壓越大，相對原子質量越小，打得梨形區(qū)深度越深，最深5微米，所以基本上1微米打薄層定量就不準，并且EDS 非準確定量工具，它是快速定量準確的工具，講究的是快速，定量并不準確！！ 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
3樓2020-02-05 18:25:24
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4樓2020-02-05 19:36:11
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