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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 學術討論 » EDS點掃的有效測量面積最小是多少啊
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| 查看: 2544 | 回復: 5 | ||||
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jane_stony新蟲 (初入文壇)
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[求助]
EDS點掃的有效測量面積最小是多少啊 已有2人參與
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| 之前測了EDS，其中有一個打點的區(qū)域寬0.1μm長0.5μm左右，打出來成分和預期差得有點大，所以想知道這個點有沒有小過EDS點掃的有效測量面積，會不會掃到邊上的相了？ |
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jane_stony
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4樓2020-02-05 19:36:11
gxytju2008
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2樓2020-02-05 17:46:28
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EDS能譜打點要求高的計數(shù)率，定量才準。而為了高的計數(shù)率，需要選擇高的加速電壓。加速電壓越大，相對原子質量越小，打得梨形區(qū)深度越深，最深5微米，所以基本上1微米打薄層定量就不準，并且EDS 非準確定量工具，它是快速定量準確的工具，講究的是快速，定量并不準確�。� 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
3樓2020-02-05 18:25:24
gxytju2008
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【答案】應助回帖
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我不確定你做的點掃描是這個意思，不過肯定是能實現(xiàn)的，就是在一個區(qū)域連續(xù)掃描采譜線就是了，和掃mapping最后拿出來譜線分析完全是一個意思其實，掃描電鏡能譜信號絕大部分都是深層幾微米以上的范圍貢獻的，表面nm級別貢獻是非常小的 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
5樓2020-02-06 00:46:52
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