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jane_stony新蟲 (初入文壇)
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EDS點掃的有效測量面積最小是多少啊 已有2人參與
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| 之前測了EDS,其中有一個打點的區(qū)域?qū)?.1μm長0.5μm左右,打出來成分和預期差得有點大,所以想知道這個點有沒有小過EDS點掃的有效測量面積,會不會掃到邊上的相了? |
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EDS能譜打點要求高的計數(shù)率,定量才準。而為了高的計數(shù)率,需要選擇高的加速電壓。加速電壓越大,相對原子質(zhì)量越小,打得梨形區(qū)深度越深,最深5微米,所以基本上1微米打薄層定量就不準,并且EDS 非準確定量工具,它是快速定量準確的工具,講究的是快速,定量并不準確! 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
新蟲 (初入文壇)
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我不確定你做的點掃描是這個意思,不過肯定是能實現(xiàn)的,就是在一個區(qū)域連續(xù)掃描采譜線就是了,和掃mapping最后拿出來譜線分析完全是一個意思其實,掃描電鏡能譜信號絕大部分都是深層幾微米以上的范圍貢獻的,表面nm級別貢獻是非常小的 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
木蟲 (正式寫手)

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