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ForJN鐵蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
請(qǐng)教一下Si片清洗相關(guān)問(wèn)題 已有1人參與
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本人是在硅片上長(zhǎng)一層二氧化硅，用BOE清洗后發(fā)現(xiàn)隨著清洗次數(shù)的增長(zhǎng)，再長(zhǎng)的SiO2折射率會(huì)越來(lái)越大，是不是因?yàn)楣杵砻姹籅OE腐蝕變性導(dǎo)致的，有什么方法能解決這個(gè)問(wèn)題呢，不想過(guò)一段時(shí)間就換硅片，又麻煩成本又高 |
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yswyx 
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我不知道什么是F20，查了一下這個(gè)不是橢偏，是一種反射式的膜厚測(cè)量?jī)x，有點(diǎn)兒類似白光干涉。 這種膜厚測(cè)量?jī)x是不能作為折射率測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)的，所以建議你找個(gè)橢偏，把你之前做好的片子再測(cè)一遍。 因?yàn)榘坠飧缮媸菚?huì)受到粗糙度的影響的，你還可以測(cè)一下你每次腐蝕后，片子的粗糙度，找個(gè)AFM測(cè)。 你的片子是研材微納買(mǎi)的嗎？像這種現(xiàn)象，很可能你一開(kāi)始的片子粗糙度就有問(wèn)題，應(yīng)該直接先找研材技術(shù)部門(mén)詢問(wèn)。 |
4樓2020-01-08 16:41:22
yswyx
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【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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反復(fù)氧化和腐蝕會(huì)導(dǎo)致粗糙度增加，不知道你長(zhǎng)SiO的方法是什么，熱氧還是PECVD，或者濺射？粗糙度對(duì)氧化硅的形成也不應(yīng)該有什么影響的。或者是原生氧化層的影響？？ 折射率測(cè)量是用橢偏儀嗎？按理說(shuō)用橢偏不會(huì)受粗糙度影響。 建議直接換硅片，其實(shí)BOE腐蝕和后學(xué)清洗的費(fèi)用，和硅片的錢(qián)比起來(lái)，還不一定哪個(gè)貴呢。建議找研材微納。一般同批次的硅片不會(huì)有什么差異，多買(mǎi)點(diǎn)兒也沒(méi)多少錢(qián)。 |
2樓2020-01-07 17:54:08
ForJN
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3樓2020-01-08 16:12:56
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5樓2020-03-10 18:50:16
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