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ForJN鐵蟲 (初入文壇)
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請教一下Si片清洗相關(guān)問題 已有1人參與
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本人是在硅片上長一層二氧化硅，用BOE清洗后發(fā)現(xiàn)隨著清洗次數(shù)的增長，再長的SiO2折射率會越來越大，是不是因?yàn)楣杵砻姹籅OE腐蝕變性導(dǎo)致的，有什么方法能解決這個(gè)問題呢，不想過一段時(shí)間就換硅片，又麻煩成本又高 |
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3樓2020-01-08 16:12:56
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2樓2020-01-07 17:54:08
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4樓2020-01-08 16:41:22
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5樓2020-03-10 18:50:16
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