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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納器件 » 請教一下Si片清洗相關問題
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[求助]
請教一下Si片清洗相關問題 已有1人參與
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本人是在硅片上長一層二氧化硅，用BOE清洗后發(fā)現(xiàn)隨著清洗次數(shù)的增長，再長的SiO2折射率會越來越大，是不是因為硅片表面被BOE腐蝕變性導致的，有什么方法能解決這個問題呢，不想過一段時間就換硅片，又麻煩成本又高 |
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6樓2020-03-10 21:03:14
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