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分子泵各種故障原因及解決方法
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1、分子泵為何會(huì)發(fā)生半邊熱，半邊冷的現(xiàn)象？ 原因：附近有光照或其他熱源 解決方法：避免光照或熱源 2、分子泵使用中發(fā)現(xiàn)油發(fā)黑，請(qǐng)問(wèn)油為什么發(fā)黑？或者多長(zhǎng)時(shí)間油才會(huì)變黑？ 原因：冷卻不良，負(fù)載太大 解決方法：檢查冷卻系統(tǒng)，檢查真空系統(tǒng) 3、分子泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中，出現(xiàn)頻率從正常下降至一定頻率后又恢復(fù)到正常，之后又下降至一定頻率，再恢復(fù)到正常，反反復(fù)復(fù)，更換電源后現(xiàn)象仍如此，請(qǐng)問(wèn)該現(xiàn)象如何解釋？ 原因：負(fù)載太大，系統(tǒng)真空度不夠 解決方法：檢查系統(tǒng) 4、分子泵軸承為什么會(huì)燒毀 原因：①缺乏定期維護(hù)②冷卻不良導(dǎo)致過(guò)熱③沒(méi)有及時(shí)換油④抽除的氣體中含有大量粉塵 解決方法：①及時(shí)維護(hù)②檢查冷卻系③及時(shí)換油④隔離粉塵 5、有防護(hù)網(wǎng)保護(hù)，為什么還會(huì)有大塊碎玻璃掉入泵內(nèi)？ 原因：防護(hù)網(wǎng)破裂，前級(jí)管道破裂 解決方法：優(yōu)化系統(tǒng)設(shè)計(jì) 6、真空度很好的情況下，分子泵油為何會(huì)返到前級(jí)管道？ 原因：油池破裂或密封不良 解決方法：檢查油池 7、正常使用下，為什么分子泵油池會(huì)出現(xiàn)裂紋或者變形 原因：過(guò)熱，負(fù)載大 解決措施：檢查冷卻系，檢查系統(tǒng) 8、分子泵中經(jīng)常掉出頂絲、鏍釘?shù)任矬w，如M5的頂絲等，請(qǐng)問(wèn)是否對(duì)分子泵的使用有影響？應(yīng)如何解決？ 原因：應(yīng)是偶爾發(fā)生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對(duì)分子泵沒(méi)有影響。 解決方式：應(yīng)是偶爾發(fā)生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對(duì)分子泵沒(méi)有影響。 9、膠圈口分子泵要用多少卡鉗，使用才安全？ 答：不作特殊限定，至少3個(gè)，按照法蘭大小可選3、6、12、24等 10、變頻器電源在什么情況下會(huì)造成程序丟失或者錯(cuò)亂？ 答：①電壓不穩(wěn)②強(qiáng)干擾③高壓打火④認(rèn)為解密 11、分子泵噪音大如何界定？是否有合格標(biāo)準(zhǔn)，是多少？ 答：小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要專用儀器和特定的測(cè)試環(huán)境 12、分子泵是否對(duì)冷卻有明確要求？如風(fēng)冷需要外界溫度是多少？如水冷則對(duì)水有何具體要求？如未達(dá)到要求會(huì)出現(xiàn)何后果？ 答：注意水溫和水流量，冷卻不良會(huì)導(dǎo)致無(wú)故停機(jī)、碎泵、油變黑等。 13、分子泵電源存在接地、屏蔽等問(wèn)題，應(yīng)如何做才是最佳方式？ 答：電源本身有接地線，只需要保證市網(wǎng)有良好接地就可以了；屏蔽主要是指對(duì)強(qiáng)磁場(chǎng)和強(qiáng)輻射的屏蔽。 14、變頻器電源，轉(zhuǎn)速上升過(guò)程中就自動(dòng)關(guān)機(jī)，即顯示“Poff”？ 答：原因：電壓低 15、分子泵葉片破碎的原因： 答：造成分子泵轉(zhuǎn)子、靜子打碎的原因比較多，歸納起來(lái)主要是以下幾點(diǎn)： ①、誤操作;比如突然的破真空，因?yàn)檗D(zhuǎn)子與靜子葉片之間的空隙非常的小，如果葉片的材質(zhì)比較薄或者比較軟，突然的空氣阻力會(huì)造成葉片變形，這樣可能會(huì)造成轉(zhuǎn)子靜子之間的摩擦，導(dǎo)致打碎。 ②、是異物掉入;沒(méi)有安裝過(guò)濾網(wǎng)使肯定不行的，另外掉進(jìn)去的東西不一定要多大，但如果硬度夠了一樣會(huì)造成傷害，輕則造成葉片邊緣被打成鋸齒狀，重則打碎葉片。所以現(xiàn)在的設(shè)備商在安裝分子泵的時(shí)候會(huì)盡量改為側(cè)面90度或倒立安裝，避免異物掉入。 ③、電壓的不穩(wěn)定，特別對(duì)磁浮類的分子泵損傷較大。 ④、前級(jí)泵的效率差;我們知道腔體內(nèi)的大部分氣體首先是通過(guò)前級(jí)泵抽出，真空達(dá)到一定程度分子泵才會(huì)啟動(dòng)。如果前級(jí)泵的效率差，分子泵就會(huì)比較吃力，啟動(dòng)速度慢，抽氣時(shí)間長(zhǎng)，電流高，分子泵溫度升高等。 ⑤、、分子泵保養(yǎng)時(shí)的動(dòng)平衡沒(méi)有做好，這是技術(shù)的關(guān)鍵，動(dòng)平衡差，振動(dòng)就大，抽氣效率就差，也容易造成軸承部分的過(guò)度磨損。 ⑥、軸承部分沒(méi)有使用原廠的標(biāo)準(zhǔn)軸承，效果和尺寸不標(biāo)準(zhǔn)等。 |
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7樓2021-11-28 23:43:13
簡(jiǎn)單回復(fù)
tzynew2樓
2019-12-08 10:56
回復(fù)
宏海分子(金幣+1): 謝謝參與
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