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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 化學化工區(qū) » 分析 » 質(zhì)譜分析 » 分子泵各種故障原因及解決方法
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分子泵各種故障原因及解決方法
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1、分子泵為何會發(fā)生半邊熱，半邊冷的現(xiàn)象？ 原因：附近有光照或其他熱源 解決方法：避免光照或熱源 2、分子泵使用中發(fā)現(xiàn)油發(fā)黑，請問油為什么發(fā)黑？或者多長時間油才會變黑？ 原因：冷卻不良，負載太大 解決方法：檢查冷卻系統(tǒng)，檢查真空系統(tǒng) 3、分子泵在運轉過程中，出現(xiàn)頻率從正常下降至一定頻率后又恢復到正常，之后又下降至一定頻率，再恢復到正常，反反復復，更換電源后現(xiàn)象仍如此，請問該現(xiàn)象如何解釋？ 原因：負載太大，系統(tǒng)真空度不夠 解決方法：檢查系統(tǒng) 4、分子泵軸承為什么會燒毀 原因：①缺乏定期維護②冷卻不良導致過熱③沒有及時換油④抽除的氣體中含有大量粉塵 解決方法：①及時維護②檢查冷卻系③及時換油④隔離粉塵 5、有防護網(wǎng)保護，為什么還會有大塊碎玻璃掉入泵內(nèi)？ 原因：防護網(wǎng)破裂，前級管道破裂 解決方法：優(yōu)化系統(tǒng)設計 6、真空度很好的情況下，分子泵油為何會返到前級管道？ 原因：油池破裂或密封不良 解決方法：檢查油池 7、正常使用下，為什么分子泵油池會出現(xiàn)裂紋或者變形 原因：過熱，負載大 解決措施：檢查冷卻系，檢查系統(tǒng) 8、分子泵中經(jīng)常掉出頂絲、鏍釘?shù)任矬w，如M5的頂絲等，請問是否對分子泵的使用有影響？應如何解決？ 原因：應是偶爾發(fā)生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對分子泵沒有影響。 解決方式：應是偶爾發(fā)生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對分子泵沒有影響。 9、膠圈口分子泵要用多少卡鉗，使用才安全？ 答：不作特殊限定，至少3個，按照法蘭大小可選3、6、12、24等 10、變頻器電源在什么情況下會造成程序丟失或者錯亂？ 答：①電壓不穩(wěn)②強干擾③高壓打火④認為解密 11、分子泵噪音大如何界定？是否有合格標準，是多少？ 答：小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要專用儀器和特定的測試環(huán)境 12、分子泵是否對冷卻有明確要求？如風冷需要外界溫度是多少？如水冷則對水有何具體要求？如未達到要求會出現(xiàn)何后果？ 答：注意水溫和水流量，冷卻不良會導致無故停機、碎泵、油變黑等。 13、分子泵電源存在接地、屏蔽等問題，應如何做才是最佳方式？ 答：電源本身有接地線，只需要保證市網(wǎng)有良好接地就可以了；屏蔽主要是指對強磁場和強輻射的屏蔽。 14、變頻器電源，轉速上升過程中就自動關機，即顯示“Poff”？ 答：原因：電壓低 15、分子泵葉片破碎的原因： 答：造成分子泵轉子、靜子打碎的原因比較多，歸納起來主要是以下幾點： ①、誤操作;比如突然的破真空，因為轉子與靜子葉片之間的空隙非常的小，如果葉片的材質(zhì)比較薄或者比較軟，突然的空氣阻力會造成葉片變形，這樣可能會造成轉子靜子之間的摩擦，導致打碎。 ②、是異物掉入;沒有安裝過濾網(wǎng)使肯定不行的，另外掉進去的東西不一定要多大，但如果硬度夠了一樣會造成傷害，輕則造成葉片邊緣被打成鋸齒狀，重則打碎葉片。所以現(xiàn)在的設備商在安裝分子泵的時候會盡量改為側面90度或倒立安裝，避免異物掉入。 ③、電壓的不穩(wěn)定，特別對磁浮類的分子泵損傷較大。 ④、前級泵的效率差;我們知道腔體內(nèi)的大部分氣體首先是通過前級泵抽出，真空達到一定程度分子泵才會啟動。如果前級泵的效率差，分子泵就會比較吃力，啟動速度慢，抽氣時間長，電流高，分子泵溫度升高等。 ⑤、、分子泵保養(yǎng)時的動平衡沒有做好，這是技術的關鍵，動平衡差，振動就大，抽氣效率就差，也容易造成軸承部分的過度磨損。 ⑥、軸承部分沒有使用原廠的標準軸承，效果和尺寸不標準等。 |
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tzynew2樓
2019-12-08 10:56
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宏海分子(金幣+1): 謝謝參與
9 發(fā)自小木蟲Android客戶端
2019-12-08 10:58
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宏海分子(金幣+1): 謝謝參與
2019-12-09 11:36
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宏海分子(金幣+1): 謝謝參與
psylhh5樓
2019-12-11 21:06
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nono20096樓
2019-12-14 13:29
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