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分子泵各種故障原因及解決方法
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1、分子泵為何會發(fā)生半邊熱,半邊冷的現(xiàn)象? 原因:附近有光照或其他熱源 解決方法:避免光照或熱源 2、分子泵使用中發(fā)現(xiàn)油發(fā)黑,請問油為什么發(fā)黑?或者多長時間油才會變黑? 原因:冷卻不良,負(fù)載太大 解決方法:檢查冷卻系統(tǒng),檢查真空系統(tǒng) 3、分子泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中,出現(xiàn)頻率從正常下降至一定頻率后又恢復(fù)到正常,之后又下降至一定頻率,再恢復(fù)到正常,反反復(fù)復(fù),更換電源后現(xiàn)象仍如此,請問該現(xiàn)象如何解釋? 原因:負(fù)載太大,系統(tǒng)真空度不夠 解決方法:檢查系統(tǒng) 4、分子泵軸承為什么會燒毀 原因:①缺乏定期維護(hù)②冷卻不良導(dǎo)致過熱③沒有及時換油④抽除的氣體中含有大量粉塵 解決方法:①及時維護(hù)②檢查冷卻系③及時換油④隔離粉塵 5、有防護(hù)網(wǎng)保護(hù),為什么還會有大塊碎玻璃掉入泵內(nèi)? 原因:防護(hù)網(wǎng)破裂,前級管道破裂 解決方法:優(yōu)化系統(tǒng)設(shè)計 6、真空度很好的情況下,分子泵油為何會返到前級管道? 原因:油池破裂或密封不良 解決方法:檢查油池 7、正常使用下,為什么分子泵油池會出現(xiàn)裂紋或者變形 原因:過熱,負(fù)載大 解決措施:檢查冷卻系,檢查系統(tǒng) 8、分子泵中經(jīng)常掉出頂絲、鏍釘?shù)任矬w,如M5的頂絲等,請問是否對分子泵的使用有影響?應(yīng)如何解決? 原因:應(yīng)是偶爾發(fā)生的事情,可能是平衡中遺漏的平衡釘,對分子泵沒有影響。 解決方式:應(yīng)是偶爾發(fā)生的事情,可能是平衡中遺漏的平衡釘,對分子泵沒有影響。 9、膠圈口分子泵要用多少卡鉗,使用才安全? 答:不作特殊限定,至少3個,按照法蘭大小可選3、6、12、24等 10、變頻器電源在什么情況下會造成程序丟失或者錯亂? 答:①電壓不穩(wěn)②強(qiáng)干擾③高壓打火④認(rèn)為解密 11、分子泵噪音大如何界定?是否有合格標(biāo)準(zhǔn),是多少? 答:小于72db合格,噪音的大小不太好界定,需要專用儀器和特定的測試環(huán)境 12、分子泵是否對冷卻有明確要求?如風(fēng)冷需要外界溫度是多少?如水冷則對水有何具體要求?如未達(dá)到要求會出現(xiàn)何后果? 答:注意水溫和水流量,冷卻不良會導(dǎo)致無故停機(jī)、碎泵、油變黑等。 13、分子泵電源存在接地、屏蔽等問題,應(yīng)如何做才是最佳方式? 答:電源本身有接地線,只需要保證市網(wǎng)有良好接地就可以了;屏蔽主要是指對強(qiáng)磁場和強(qiáng)輻射的屏蔽。 14、變頻器電源,轉(zhuǎn)速上升過程中就自動關(guān)機(jī),即顯示“Poff”? 答:原因:電壓低 15、分子泵葉片破碎的原因: 答:造成分子泵轉(zhuǎn)子、靜子打碎的原因比較多,歸納起來主要是以下幾點: ①、誤操作;比如突然的破真空,因為轉(zhuǎn)子與靜子葉片之間的空隙非常的小,如果葉片的材質(zhì)比較薄或者比較軟,突然的空氣阻力會造成葉片變形,這樣可能會造成轉(zhuǎn)子靜子之間的摩擦,導(dǎo)致打碎。 ②、是異物掉入;沒有安裝過濾網(wǎng)使肯定不行的,另外掉進(jìn)去的東西不一定要多大,但如果硬度夠了一樣會造成傷害,輕則造成葉片邊緣被打成鋸齒狀,重則打碎葉片。所以現(xiàn)在的設(shè)備商在安裝分子泵的時候會盡量改為側(cè)面90度或倒立安裝,避免異物掉入。 ③、電壓的不穩(wěn)定,特別對磁浮類的分子泵損傷較大。 ④、前級泵的效率差;我們知道腔體內(nèi)的大部分氣體首先是通過前級泵抽出,真空達(dá)到一定程度分子泵才會啟動。如果前級泵的效率差,分子泵就會比較吃力,啟動速度慢,抽氣時間長,電流高,分子泵溫度升高等。 ⑤、、分子泵保養(yǎng)時的動平衡沒有做好,這是技術(shù)的關(guān)鍵,動平衡差,振動就大,抽氣效率就差,也容易造成軸承部分的過度磨損。 ⑥、軸承部分沒有使用原廠的標(biāo)準(zhǔn)軸承,效果和尺寸不標(biāo)準(zhǔn)等。 |
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