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RM美凌格新蟲 (正式寫手)
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[交流]
器件鍍膜膜厚問題 已有4人參與
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| 做相同的器件,蒸鍍的金屬厚度主要取決于什么?比如InSe,我見到的就有Cr/Au分別為:5/35,5/50,5/70 nm。這個蒸鍍金屬的厚度會影響器件的性能還是其他的什么? |
新蟲 (知名作家)
至尊木蟲 (文壇精英)
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如果做liftoff的話,和你的光刻膠或者電子束膠厚有關,蒸鍍金屬厚度不超過膠厚的三分之一。另外,如果是做電極,考慮后期測試扎探針或者互聯(lián)的話,太薄容易損壞電極。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
新蟲 (小有名氣)
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