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RM美凌格新蟲 (正式寫手)
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[交流]
器件鍍膜膜厚問(wèn)題 已有4人參與
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| 做相同的器件，蒸鍍的金屬厚度主要取決于什么？比如InSe,我見到的就有Cr/Au分別為：5/35,5/50,5/70 nm。這個(gè)蒸鍍金屬的厚度會(huì)影響器件的性能還是其他的什么？ |
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Xiver_Sun
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3樓2019-04-03 11:48:42
xiangan315
至尊木蟲 (文壇精英)
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
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如果做liftoff的話，和你的光刻膠或者電子束膠厚有關(guān)，蒸鍍金屬厚度不超過(guò)膠厚的三分之一。另外，如果是做電極，考慮后期測(cè)試扎探針或者互聯(lián)的話，太薄容易損壞電極。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
2樓2019-04-03 09:43:51
4樓2019-04-07 21:32:56
ALD菜鳥
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5樓2019-04-07 22:25:17
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