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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納器件 » 器件鍍膜膜厚問題
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| 查看: 1716 | 回復(fù): 4 | |||
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RM美凌格新蟲 (正式寫手)
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[交流]
器件鍍膜膜厚問題 已有4人參與
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| 做相同的器件，蒸鍍的金屬厚度主要取決于什么？比如InSe,我見到的就有Cr/Au分別為：5/35,5/50,5/70 nm。這個蒸鍍金屬的厚度會影響器件的性能還是其他的什么？ |
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4樓2019-04-07 21:32:56
xiangan315
至尊木蟲 (文壇精英)
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
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|
如果做liftoff的話，和你的光刻膠或者電子束膠厚有關(guān)，蒸鍍金屬厚度不超過膠厚的三分之一。另外，如果是做電極，考慮后期測試扎探針或者互聯(lián)的話，太薄容易損壞電極。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
2樓2019-04-03 09:43:51
Xiver_Sun
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3樓2019-04-03 11:48:42
ALD菜鳥
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5樓2019-04-07 22:25:17
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