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二七九二新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
光刻膠膜層皺紋 已有1人參與
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目的：在硅片上得到圓柱狀光刻膠。參數(shù)：正性光刻膠AZ4620，每次1000rpm勻膠20um，用棉簽沾丙酮去邊膠，軟烘：90℃15min，再下一次勻膠，重復(fù)10次，得到200um厚膠層，曝光機(jī)12mJ/平方厘米，曝光200s+400s（曝光200s冷卻后再曝光400s），顯影用1：4稀釋的AZ400K，手動(dòng)顯影：用鑷子夾住浸沒(méi)在顯影液并快速攪動(dòng)，顯影時(shí)間平均在30min，得到的膠層在顯微鏡下看到膜層有嚴(yán)重網(wǎng)狀裂紋。 發(fā)自小木蟲(chóng)手機(jī)客戶(hù)端 |
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二七九二
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- 專(zhuān)業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
4樓2024-12-02 16:41:19
2樓2024-12-02 10:12:09
二七九二
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您好，就是曝光之后在顯微鏡下觀(guān)察膜層沒(méi)有這種裂紋，所以我猜測(cè)可能是顯影出現(xiàn)的問(wèn)題，所以我懷疑有幾個(gè)點(diǎn)：1、顯影手動(dòng)攪動(dòng)非常猛烈是否會(huì)導(dǎo)致裂紋 2、顯影過(guò)程發(fā)現(xiàn)前期溶解速率較快，后期溶解慢：感覺(jué)都不是溶解，在顯影液里發(fā)現(xiàn)沒(méi)有溶解的小塊狀光刻膠（是否和沒(méi)有進(jìn)行重吸水有關(guān)）3、用的顯影液AZ400K每次都用到變血紅色才換掉，是否有影響 發(fā)自小木蟲(chóng)手機(jī)客戶(hù)端 |
3樓2024-12-02 15:17:21
5樓2024-12-11 09:40:58
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