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半導(dǎo)體奇才新蟲 (初入文壇)
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[求助]
ALD生長(zhǎng)薄膜出現(xiàn)漸變色求助! 已有1人參與
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用ALD生長(zhǎng)的hf0.5zr0.5o2,280℃的溫度,長(zhǎng)出來的薄膜在TiN上顏色不均勻,呈現(xiàn)紫色到金光的漸變色,這是為什么呀。同一批在Si上面生長(zhǎng)的卻很均勻,但看臉有時(shí)也不均勻,這是因?yàn)榍膀?qū)體過多或沒吹掃夠嗎?跪謝! @hwweven 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |

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新蟲 (初入文壇)
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TiN是我自己生長(zhǎng)的,感覺厚度差距不會(huì)太大最多10nm,這個(gè)應(yīng)該不會(huì)影響吧 我看他們不是經(jīng)常有往孔洞里ald沉積的嗎發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
新蟲 (初入文壇)
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新蟲 (初入文壇)
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我調(diào)整后,在TiN上生長(zhǎng)也很均勻了,但是和硅片比顏色差距很大。 但我用高溫膠帶做遮擋留底電極的片子卻沒法長(zhǎng)上去,您知道有什么可以做遮擋的辦法嗎? 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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