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分子級篩子新蟲 (小有名氣)
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[交流]
微納結(jié)構(gòu)刻蝕側(cè)壁粗糙度問題 已有4人參與
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硅基玻璃用氫氟酸多次刻蝕，側(cè)壁上會有明顯的刻蝕條紋，用化學(xué)生長法處理過，效果很爛。哪里出了問題？還有什么方法能處理微結(jié)構(gòu)表面（尤其是側(cè)面）？ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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zuopeng142
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2樓2020-03-29 23:35:37
分子級篩子
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10*100微米的長方形溝槽（硼硅玻璃），刻蝕100微米深，發(fā)現(xiàn)配好的刻蝕溶液會腐蝕側(cè)壁，一次刻不出來，就改成多次刻蝕，就是刻蝕5微米深，清洗干凈，做了側(cè)壁保護(hù)（PMMA光刻膠），再繼續(xù)刻蝕，結(jié)果側(cè)壁腐蝕減輕，已經(jīng)達(dá)到能接受的程度，這個方法太麻煩了。想問問有沒有只向下腐蝕，不向兩側(cè)壁腐蝕的方法。或者其他加工方法？ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
3樓2020-03-31 23:33:13
zuopeng142
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4樓2020-04-02 09:50:31
liupan66
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5樓2020-04-05 21:07:37
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6樓2020-04-07 16:21:07
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7樓2020-04-07 20:52:00
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干法蝕刻是可以的，就是對設(shè)備和掩膜有要求。蘇納的NLD570這種機(jī)型可以刻這么深，就是不知道他們的配置對不對 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
8樓2020-04-08 11:27:33
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