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zhaojiang427至尊木蟲(chóng) (知名作家)
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KrF光刻膠樹(shù)脂分類簡(jiǎn)介
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https://mp.weixin.qq.com/s/ZnKHd0NMwm9DwYIQ0hVEAA KrF光刻膠樹(shù)脂分類簡(jiǎn)介 KrF光刻膠（248nm）采用化學(xué)放大（CAR）技術(shù)，其核心樹(shù)脂為聚對(duì)羥基苯乙烯（Poly(4-hydroxystyrene), PHS）及其共聚物，這是與G線/I線酚醛樹(shù)脂體系的根本區(qū)別。 目前基于聚羥基苯乙烯（PHS）及其衍生物的KrF光刻膠樹(shù)脂包括三類：APEX類、Acetal類和ESCAP類。三種樹(shù)脂的區(qū)別在于使用的聚合物樹(shù)脂不同。更具體的是使用的聚合物樹(shù)脂，酸致脫保護(hù)基團(tuán)活化能不同使得脫保護(hù)反應(yīng)發(fā)生的溫度不同。 詳細(xì)信息可訪問(wèn)下面公眾號(hào)鏈接：https://mp.weixin.qq.com/s/ZnKHd ... dle\" border=\"0\">  |
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