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zhaojiang427至尊木蟲 (知名作家)
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KrF光刻膠樹脂分類簡介
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https://mp.weixin.qq.com/s/ZnKHd0NMwm9DwYIQ0hVEAA KrF光刻膠樹脂分類簡介 KrF光刻膠（248nm）采用化學(xué)放大（CAR）技術(shù)，其核心樹脂為聚對羥基苯乙烯（Poly(4-hydroxystyrene), PHS）及其共聚物，這是與G線/I線酚醛樹脂體系的根本區(qū)別。 目前基于聚羥基苯乙烯（PHS）及其衍生物的KrF光刻膠樹脂包括三類：APEX類、Acetal類和ESCAP類。三種樹脂的區(qū)別在于使用的聚合物樹脂不同。更具體的是使用的聚合物樹脂，酸致脫保護(hù)基團活化能不同使得脫保護(hù)反應(yīng)發(fā)生的溫度不同。 詳細(xì)信息可訪問下面公眾號鏈接：https://mp.weixin.qq.com/s/ZnKHd ... dle\" border=\"0\">  |
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